توقفوا عن تسخين الهواء: طريقة أفضل لتدفئة العربات المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات
إذا أردنا بالفعل تحقيق أهداف التخلص من الكربون في مصانع أشباه الموصلات، فيجب علينا التوقف عن إهدار الطاقة. المصدر الرئيسي لإهدار الطاقة هو أجهزة التسخين التقليدية. فهي تحاول تسخين كامل حجرة التنظيف فقط للحفاظ على استقرار بعض المكونات. إنها كمن يحاول تسخين المنزل بأكمله فقط للحفاظ على دفء كوب من القهوة.
لذلك، استخدمنا مصابيح الأشعة تحت الحمراء ذات الأمواج القصيرة، والتي تُركب مباشرة في العربات. بدلاً من تسخين الهواء، نوجه الحرارة مباشرة إلى المكان الذي توجد فيه الرقاقات.
لماذا تعمل مصابيح الأشعة تحت الحمراء؟
الهواء ليس موصلاً جيداً للحرارة. باستخدام مصابيح الأشعة تحت الحمراء، يمكننا تجاوز حاجة استخدام وسطاء في نقل الحرارة. نستخدم عناصر كوارتز-هالوجين التي تؤثر على السطح المستهدف بشكل فوري.
إنها سريعة جداً. هذا يعني أن أوقات التسخين تقل، ولا حاجة لاستخدام كميات كبيرة من الطاقة لكل دفعة.
الحفاظ على النظافة
غرف التنظيف تتطلب درجة عالية من النظافة. لا يمكن وضع أي جهاز تسخين فيها، وإلا سيؤدي ذلك إلى ظهور جسيمات وغازات ضارة. نستخدم أغلفة من الكوارتز عالية النقاء للحفاظ على النظافة.
كما نغطي العناصر المستخدمة لتعديل طيف الحرارة. هذا يضمن أن الحرارة تصل إلى الرقاقات دون أن تؤثر سلباً على هيكل العربة.
بالإضافة إلى ذلك، تم تصميم هذه الأجهزة لتعمل فقط عند الحاجة. تعمل المصابيح فقط عندما يتحرك العربة، ولا يتم استخدام الطاقة طوال الوقت.
الجزء الصعب
ليس الأمر بهذه البساطة. فأجهزة الأشعة تحت الحمراء عالية الكثافة تصدر حرارة شديدة في منطقة محدودة.
إذا تم استخدام كمية كبيرة من الطاقة في مساحة صغيرة، فقد يؤدي ذلك إلى تشوه العربة أو تفعيل أجهزة الإنذار في غرف التنظيف بسبب تمدد الهواء بسرعة كبيرة. يجب إيجاد التوازن المناسب بين كمية الطاقة وتدفق الهواء وقدرة العربة على تحمل الحرارة.
لكن عندما يتم تحقيق هذا التوازن، يتحول الأمر من استهلاك طاقة مستمر إلى أداة دقيقة للتسخين. هذا منطقي تماماً.