ফ্যাব ফ্লোরে, ৯৫°C তাপমাত্রায় ফটোরেজিস্টকে নরম অবস্থায় রাখার সময় তাপমাত্রা ১.৫°C পর্যন্ত পরিবর্তিত হতে পারে; আর পরবর্তী লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায় লাইন-ওয়াইডথ নিয়ন্ত্রণ ঠিক থাকে না। সুপারকন্ডাক্টর চিপ তৈরির ক্ষেত্রে এই ধরনের পরিবর্তন শুধুমাত্র উৎপাদন হ্রাসের কারণ হয় না—এটা প্রক্রিয়া ব্যর্থতার কারণও হয়।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা সুপারকন্ডাক্টর চিপ তৈরির জন্য এমন একটি ল্যাম্প তৈরি করেছি, যা নিয়ন্ত্রিত তাপপ্রয়োগ ও নির্ভুল তাপীয় স্থিতিশীলতার উপর ভিত্তি করে কাজ করে। এটা ওয়েফারের উপরিভাগে ±০.১°C এর মধ্যে স্থিতিশীলতা বজায় রাখে; ফলে ফটোরেজিস্ট প্রতিবারই একই তাপমাত্রা অনুভব করে—চাই সেটা নরম বেকিং হোক বা হার্ড বেকিং।
এমিটারটির ডিজাইন এমন যে এটা দ্রুত প্রতিক্রিয়া দেয়; ফলে রেসিপি পরিবর্তিত হলেও তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণে থাকে। এটা ক্লাস ১–১০০ ধরনের ক্লিনরুম পরিবেশে কাজ করে; সিলড চেম্বার ও কম গ্যাস নিঃসরণকারী উপাদানগুলোর কারণে দীর্ঘ সময় ধরে বেকিং করার সময়ও কণার সংখ্যা বৃদ্ধি পায় না। ক্লোজড-লুপ নিয়ন্ত্রণের কারণে আউটপুট পুনরাবৃত্তিযোগ্য থাকে; ফলে ইচ প্রক্রিয়ায়ও গুরুত্বপূর্ণ মাত্রাগুলো নিয়ন্ত্রণে থাকে।
এটা কেন কার্যকর?
সুপারকন্ডাক্টর লাইনগুলো খুব সংকীর্ণ তাপীয় সীমার মধ্যে কাজ করে। এই ল্যাম্পের কারণে নরম ও হার্ড বেকিং প্রক্রিয়াগুলো নির্ধারিত সীমার মধ্যেই থাকে; ফলে ওয়েফারের উপর ফটোরেজিস্টের প্রবাহ ও আঠালোতা পুনরাবৃত্তিযোগ্য থাকে। এর ফলে লাইন-ওয়াইডথ ও অভিমুখিতা আরও ভালো থাকে; পুনরাবৃত্তির প্রয়োজন কমে যায়; আর সাইকেল সময়ও নির্ভরযোগ্য থাকে। আর যেহেতু ল্যাম্পটি দ্রুত নির্ধারিত তাপমাত্রায় পৌঁছায় ও সেখানেই থাকে, তাই শক্তি অপচয় বা যন্ত্রে অতিরিক্ত তাপ জমা হয় না।
জানা উচিত যে…
এই ল্যাম্পটি বিদ্যমান লিথোগ্রাফি সিস্টেমগুলোর সাথে ব্যবহার করা যায়; কিন্তু এর জন্য পৃথক বিদ্যুৎ সরবরাহ ও নির্দিষ্ট ক্লিনরুম মান অনুযায়ী এক্সহস্ট সিস্টেম প্রয়োজন। ল্যাম্প ও ওয়েফারের মধ্যকার দূরত্ব নির্ধারণ এবং তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের জন্য অবশ্যই পরীক্ষামূলক চালনা করা উচিত।