V prostředí výroby není termický posun během měkkého pečení nebo sušení polovodičových čipů jen problémem – způsobuje změny kritických rozměrů a snižuje tak výtěžnost výroby. Vytvořili jsme infračervenou lampu s podporou z molybdenu, která udržuje teplotní profil v rozsahu určeném recepturou – takže výsledky jsou opakovaně spolehlivé a nezávislé na okolních podmínkách.
Co je z technického hlediska důležité
Podpora z molybdenu zajišťuje stabilitu při vysokých teplotách a nízkou úroveň uvolňování plynů v čistých prostorách třídy 1–100. Díky tomu zůstává počet částic konstantní. Spolu s přizpůsobeným infračerveným zdrojem umožňuje tento systém dosáhnout rovnoměrné teploty na celé povrchu čipu v rozsahu ±0,1 °C. Reakce lampy je rychlá, takže lze udržet stabilní teplotní profil během měkkého i tvrdého pečení. Výkon lampy zůstává stabilní po dobu více než 5 000 hodin, s odchylkou Intenzity menší než 5 %. Lampa se dá snadno integrovat do standardních pecí na zpracování polovodičů, s čistými mechanickými spoji a možností opakovaného zarovnání.
Proč to v praxi funguje
Při sušení polovodičových čipů infrazračné záření rychle a rovnoměrně odstraňuje vlhkost z povrchu, takže nevznikají pruhy nebo problémy na okrajích čipu, ke kterým dochází, když teplota není rovnoměrná. Při zpracování fotorezistentů zajistuje tato stabilní teplota konzistentní výsledky při měkkém pečení, stejně jako při opakovaném tvrdém pečení. Výsledkem je menší množství vadných výrobků a předvídatelné cykly výroby. Spotřeba energie také klesá – lampa rychle dosáhne požadované teploty a udržuje ji bez překročení limitů.
Důležité detaily
Instalace vyžaduje přesné optické zarovnání a stabilní napěťový profil. Výkyvy napětí a špatně zarovnané reflektory mohou vést ke vzniku „horkých míst“. Lampa se zahřívá, proto musí být její ochranné prvky a spoje v souladu s bezpečnostními požadavky zařízení. Je potřeba správně naplánovat řízení teploty kolem podpůrných prvků, aby se zabránilo zahřátí sousedních komponentů. Pokud jsou tyto detaily správně nastaveny, proces může probíhat efektivně. Lampa funguje jako stabilní součást celého výrobního procesu.