Přestaňte plýtvat časem na zahřívání vzduchu: Proč je vakuumové IR řešení tou správnou cestou
Pokud pracujete v oblasti hluboké obrábění polovodičů, znáte ten problém. Bojujete o každou sekundu výrobního procesu. Dlouho jsme spoléhali na cirkulaci horkého vzduchu, ale ve vakuu je to prostě… pomalé. Je to neefektivní.
V tu chvíli přichází na řadu vakuumově kompatibilní infračervené (IR) ohřevání. Místo toho, abychom se snažili přenést teplo skrze médium, které tam vlastně není, IR záření působí přímo na povrch waferu. Žádný prostředník. Žádné čekání.
Skutečná cena čekání
Zamyslete se nad těmi starými systémy s horkým vzduchem. Musíte nejdřív ohřát celou komoru, než se pracovní kus vůbec dostane na požadovanou teplotu. To znamená obrovské zpomalení celého procesu.
Přejděte na IR ohřev – ta prodleva prakticky mizí. Mluvíme o snížení doby nastartování z deseti minut na možná třicet sekund. V provozu s vysokou kapacitou to není jen „příjemná vlastnost“ – je to obrovský benefit pro počet waferů za hodinu.
Jak to vlastně funguje
Nepoužíváme tam obyčejné žárovky. Tyto ohřívače jsou navrženy tak, aby fungovaly i v prostředí s vysokým vakuem, bez úniku nečistot do systému. Používáme vysoce čistý křemen a speciální vlákna, abychom udrželi komoru čistou.
Kromě toho máte mnohem větší kontrolu. Místo toho, abyste ohřívali celou oblast, můžete namířit teplo přímo na konkrétní oblasti waferu, které ho opravdu potřebují.
Je tu však jeden problém: je to rychlé. Opravdu velmi rychlé. Pokud není správně nastaveno PID řízení, můžete překročit požadovanou teplotu, aniž byste si to uvědomili. Budete potřebovat termočlánky s rychlou reakcí, abyste udrželi teplotu stabilní a vyhnuli se nečekaným situacím.
Očista prostoru
Jedna z nejlepších věcí? Konečně se můžete zbavit zbytečných komponentů. Nemusíte používat ty obrovské ventilátory, nekonečné potrubí nebo těžké filtrační systémy, které jsou součástí systémů s horkým vzduchem. Stačí zapojit lampy do napájecí sítě a umístit je do odrazivého pouzdra, aby se veškerá zbytečná energie vrátila zpět na díl.
Vaše stroje budou menší, procesy se urychlí a přestanete platit za čas potřebný na zahřátí vzduchu. Nakonec budete platit pouze za čas potřebný na zpracování silikonu.