V prostředí výroby určují parametry měkkého a tvrdého zahřívání průběh procesu – termická regulace není něco, co lze jednoduše upravit, je to spíše...

Out on the line běží pec LPCVD jako tlaková nádoba, která si vynucuje svůj režim – stabilní teplotu, těsnou uniformitu a nulovou toleranci pro výkyvy...