Wie man seine Bio-Sensoren sauber hält
Wenn Sie in einem Reinraum der Klasse 100 arbeiten, kennen Sie die Probleme. Schon ein winziger Staubkorn oder ein einzelner Materialflöckchen kann eine ganze Charge an Wafern unbrauchbar machen. Das ist frustrierend. Meistens sind es die Heizelemente, die das Problem verursachen – sie geben Gase ab oder brechen ab, gerade dann, wenn sie am meisten benötigt werden.
Deshalb haben wir auf hochreinen synthetischen Quarz-IR-Lampen umgestellt.
Warum Quarz wichtig ist
Bei herkömmlichem Glas oder billigem Quarz beginnt die Qualität zu sinken, sobald die Leistung erhöht wird. Solche Lampen können sogar „rauchen“ und dabei Metallionen freisetzen, die direkt auf die zu bearbeitenden Objekte gelangen. Wir verwenden hingegen geschmolzenes Silizium mit fast keinerlei Verunreinigungen. Dadurch bleibt die Lampe stabil. Wenn die Temperatur erhöht wird, bleibt die Strahlung, die auf das Substrat trifft, rein – ohne Überraschungen oder Kontaminationen.
Wärme genau dort, wo sie benötigt wird
Für die Herstellung und Verbindung von Bio-Sensoren ist eine sehr spezielle Art von Wärme erforderlich. Man möchte schließlich nicht den gesamten Reinraum in eine Sauna verwandeln. Unsere Lampen lenken die Energie gezielt auf das Substrat. Das ist ein großer Vorteil für das Klimasystem des Reinraums – es bleibt kühler. Zudem werden dadurch die Luftströmungen reduziert, die normalerweise Staub aufwirbeln.
Aber man muss vorsichtig mit der Leistungsstärke sein. Wenn man zu viel Leistung durch einen kurzen Schlauch leitet, entsteht eine enorme Wärmemenge. Wenn das Kühlsystem damit nicht fertig wird, können die Quarzenden beschädigt werden. Das ist ein schneller Weg, um eine Lampe unbrauchbar zu machen.
Einfacher Austausch der Lampen
Wir haben diese Lampen so konstruiert, dass sie leicht ausgetauscht werden können. Wir nutzen Standardanschlüsse sowie exakt festgelegte Längen. Wenn also eine Lampe kaputt geht, kann man sie einfach austauschen. Man muss nicht den ganzen Nachmittag damit verbringen, die gesamte Anlage neu einzustellen.
Nur eine Warnung: Diese Lampen sind empfindlich. Hochreiner Quarz ist zwar hart, aber er verträgt keine Spannungen. Bitte berühren Sie die Lampen auf keinen Fall mit fettigen Handschuhen. Verwenden Sie stattdessen staubfreie Tücher und Staubsaugerwerkzeuge bei der Installation. Das ist die einzige Möglichkeit, sicherzustellen, dass der Reinraum weiterhin der Klasse 100 angehört.