Deje de calentar el aire: una forma mejor de calentar sus carros de transporte
Si realmente queremos alcanzar esos objetivos de neutralidad en las emisiones de carbono en las fábricas de semiconductores, debemos dejar de desperdiciar energía. ¿Cuál es el principal culpable? Los calentadores convencionales por convección. Ellos intentan calentar todo el espacio de la sala limpia, solo para mantener estables algunos componentes. Es como calentar toda la casa solo para mantener caliente una taza de café.
Por eso hemos optado por usar lámparas de infrarrojo de onda corta, integradas directamente en los carros de transporte. En lugar de calentar todo el aire, dirigimos el calor exactamente allí donde se encuentran las obleas.
¿Por qué funciona el infrarrojo?
El aire es un pésimo conductor de calor. Al utilizar lámparas de infrarrojo, podemos evitar este problema. Utilizamos elementos de cuarzo-halogeno que transmiten el calor de manera instantánea a la superficie objetivo. Es rápido… realmente rápido. Esto significa que los tiempos de calentamiento disminuyen, y no se necesita tanta energía para cada lote de productos.
Mantener la limpieza
Las salas limpias son muy exigentes. No se puede simplemente colocar cualquier tipo de calentador allí, ya que eso causaría problemas relacionados con partículas y gases. Utilizamos envolturas de cuarzo de alta pureza para mantener todo impecable. También recubrimos los elementos para ajustar el espectro de calor. De esta manera, el calor llega a los objetos a transportar sin dañar el chasis del carro.
Además, estas lámparas funcionan bajo demanda: solo se activan cuando el carro se mueve, gracias a la señal del sensor. No necesitas mantener el calentador encendido 24/7; solo utilizas energía cuando realmente hay algo que calentar.
La parte complicada
No todo es tan sencillo. Los arrays de infrarrojo de alta densidad generan mucho calor localizado. Si se introducen demasiados vatios en un espacio reducido, es posible que el carro se deforme o que se active la alarma de la sala limpia, debido a la rápida expansión del aire. Hay que encontrar el equilibrio adecuado entre la potencia, el flujo de aire y lo que realmente pueden soportar los carros de transporte.
Pero una vez que se logra ese equilibrio, lo que antes era un consumo constante de energía se convierte en una herramienta precisa. Tiene sentido.