Dejen de perder tiempo calentando el aire: por qué el calentamiento por infrarrojos en vacío es la solución ideal
Si trabajan en el procesamiento avanzado de semiconductores, saben bien lo que implica eso. Hay que aprovechar al máximo cada segundo disponible para completar las tareas. Durante mucho tiempo, nos hemos basado en la circulación de aire caliente, pero en un ambiente de vacío, ese método es muy lento.
Ahí es donde entra en juego el calentamiento por infrarrojos compatible con condiciones de vacío. En lugar de intentar transmitir calor a través de un medio que no existe, los rayos infrarrojos actúan directamente sobre la superficie de la oblea. Sin intermediarios. Sin esperas.
El verdadero costo de esperar
Piensen en esos antiguos sistemas de aire caliente. Es necesario calentar toda la cámara antes de que la pieza llegue a la temperatura deseada. Eso representa una gran pérdida de tiempo.
Al utilizar el calentamiento por infrarrojos, esa demora desaparece prácticamente. Se trata de reducir el tiempo de calentamiento de diez minutos a unos treinta segundos. En una fábrica de alto volumen, esto no es solo algo “agradable”, sino una ventaja enorme para aumentar la cantidad de obleas procesadas por hora.
Cómo funciona realmente
No se trata simplemente de colocar una bombilla allí. Estos calentadores están diseñados para funcionar en ambientes de alto vacío, sin que se produzca escape de sustancias nocivas dentro del sistema. Utilizamos cuarzo de alta pureza y filamentos especializados para mantener la cámara limpia.
Además, se obtiene un mayor control sobre el proceso de calentamiento. En lugar de calentar todo el área, se puede dirigir el calor hacia las zonas específicas de la oblea que realmente lo necesitan.
Pero hay un problema: funciona muy rápido. Demasiado rápido. Si la configuración del control PID no está bien ajustada, es posible alcanzar la temperatura deseada antes de darse cuenta. Por eso, es necesario contar con termopares de respuesta rápida para mantener todo bajo control y evitar sorpresas.
Ventajas adicionales
Una de las mejores partes de este sistema es que finalmente se puede eliminar el exceso de equipo. No se necesitan esos grandes soplantes, ni conductos interminables, ni sistemas de filtración complejos que se utilizan con los sistemas de aire caliente. Basta con conectar las lámparas a la fuente de energía y montarlas en un recinto reflectante para que la energía desperdiciada sea reutilizada.
Así, el espacio ocupado por la máquina disminuye, la velocidad de los ciclos aumenta, y ya no hay que pagar por el tiempo necesario para calentar el aire. Ahora, solo se paga por el tiempo necesario para procesar el silicio.