در کارخانههای تولید نیمههادی، اختلالات حرارتی در فرآیندهای خشک کردن ویفرها، تنها مشکلی نیستند که وجود دارد؛ بلکه این اختلالات باعث تغییر ابعاد مهم ویفرها شده و منجر به از دست رفتن محصولات تولید شده میشوند. ما یک لامپ مادون قرمز را طراحی کردیم که بر روی ستونهای مولیبدنی قرار دارد؛ این لامپ به حفظ پروفایل حرارتی مورد نیاز کمک میکند، و این پروفایل قابل تکرار است و تحت تأثیر شرایط محیطی قرار نمیگیرد.
چه چیزهایی از نظر فنی اهمیت دارند؟ ستونهای مولیبدنی، استабیلیت حرارتی بالایی را در اتاقهای تمیز درجه ۱ تا ۱۰۰ فراهم میکنند؛ بنابراین تعداد ذرات موجود در هوا ثابت باقی میماند. این سیستم، همراه با یک فرستنده مادون قرمز، باعث ایجاد یکنواختی حرارتی در سطح ویفرها میشود؛ این یکنواختی در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد است. پاسخ این سیستم سریع است؛ بنابراین میتوانید کنترل بهتری بر میزان انرژی مصرفی در فرآیندهای خشک کردن داشته باشید. عملکرد این لامپ در طول بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت، با کمتر از ۵٪ تغییر در شدت نور، ثابت باقی میماند. این لامپ میتواند در فرهای استاندارد نیمههادی نیز استفاده شود؛ همچنین دارای رابطهای مکانیکی تمیز و قابلیت تنظیم مجدد نیز میباشد.
چرا این روش در عمل مؤثر است؟ در فرآیند خشک کردن ویفرها، پروفایل مادون قرمز باعث خارج شدن سریع و یکنواخت رطوبت از سطح ویفرها میشود؛ بنابراین مشکلاتی مانند وجود خطوط روی سطح ویفرها ایجاد نمیشود. در فرآیند پردازش فوتورزیست، همین یکنواختی حرارتی باعث انجام فرآیندهای خشک کردن یکنواخت میشود؛ بنابراین کنترل ابعاد مهم ویفرها و پروفایلهای سطحی آنها نیز به خوبی انجام میشود. در نتیجه، تعداد محصولات باکیفیت بیشتری تولید میشود و زمان تولید نیز قابل پیشبینی است. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا این لامپ به سرعت به دمای مورد نیاز میرسد و آن را حفظ میکند.
جزئیات مهم: نصب این لامپ نیازمند تنظیمات دقیق اپتیکی و یک پروفایل تغذیهای مناسب است. نوسانات ولتاژ و عدم تنظیم صحیح منعکسکنندهها، باعث ایجاد نقاط گرم میشود. این لامپ دارای دمای بالایی است؛ بنابراین نیاز به سیستمهای محافظتی وجود دارد. برای جلوگیری از گرم شدن اجزای اطراف، باید مدیریت حرارتی مناسبی انجام شود. اگر این جزئیات به درستی مدیریت شوند، فرآیند تولید به خوبی انجام خواهد شد. این لامپ مانند یک بخش ثابت و قابل تکرار در خط تولید عمل میکند.