جلوگیری از بروز مشکلات در خطوط فرآوری ویفرها
واقعیت کار با ویفرهایی که تحت فشار زیاد قرار دارند این است که وقتی لامپ خراب میشود، مسئله فقط از دست رفتن چند دقیقه از زمان تولید نیست. اگر لوله کوارتزی نیز پاره شود، تکههای شیشه و رسوبات هالوژنی روی ویفرها میافتند.
این وضعیت واقعاً فاجعهبار است؛ یک بار پاره شدن لوله، به معنای از بین رفتن کل محصولات تولید شده است.
برای جلوگیری از این اتفاق، از سپرهای بازتابنده استفاده میکنیم. این روش ساده به نظر میرسد، اما در واقع دو کار مهم را انجام میدهد: به عنوان یک دیوار فیزیکی عمل کرده و گرما را متمرکز میکند.
اثر «تور ایمنی»
ما از سپرهای بازتابنده صرفاً برای بازتاب نور استفاده نمیکنیم؛ بلکه منبع مادون قرمز را در یک جعبه پوشیده از آلومینیوم یا طلا قرار میدهیم.
میتوانید آن را مانند یک پوسته محافظ در نظر بگیرید؛ اگر لامپ در شرایط فشار زیاد خراب شود، سپر بازتابنده تکههای شیشه را جذب میکند. در نتیجه، تکههای شیشه روی ویفرها نمیافتند و مشکلات کمتری پیش میآید.
تنظیم دقیق گرما
در این روش، از سپرهای بازتابنده برای هدایت حداکثر مقدار ممکن از نور مادون قرمز به سمت ویفرها استفاده میشود. با تنگ کردن پرتو نور، میتوانیم چگالی گرما را افزایش دهیم، بدون اینکه نیاز به افزایش توان لامپ باشد. این کار به لامپ کمک میکند تا سردتر کار کند؛ که البته یک مزیت بزرگ است.
اما مشکل اینجاست که سپرهای بازتابنده گرما را در درون جعبه لامپ نگه میدارند؛ بنابراین باید مطمئن شوید که فنهای خنککننده یا سیستمهای آبی میتوانند این گرمای اضافی را مدیریت کنند. در غیر این صورت، لامپ زودتر خراب خواهد شد.
تسهیل کار برای تکنسینها
ما این سپرهای بازتابنده را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند به راحتی جایگزین لامپهای قدیمی شوند. آنها دقیقاً در نقطه کانونی لامپ قرار میگیرند؛ بنابراین گرما به طور یکنواخت روی کل ویفر پخش میشود.
وقتی لوله لامپ خراب میشود، نیازی نیست داخل محفظه فرآوری کار کنید؛ کافی است کل مجموعه لامپ را بیرون بکشید.
این کار بسیار مفید است؛ زیرا از نزدیک شدن تکنسینها به محفظه جلوگیری میکند. هیچ روغن پوستی یا گرد و غباری وجود نخواهد داشت؛ فقط یک تعویض ساده و سریع انجام خواهد شد.
یک نکته دیگر: سپرهای بازتابنده را همیشه تمیز نگه دارید؛ اگر اکسیده شوند، توان لامپ کاهش خواهد یافت و لامپ باید بیشتر کار کند تا جبران کند. اگر سپرها براق باشند، کل فرآیند بهتر پیش خواهد رفت.