دست از هدر دادن زمان برای گرم کردن هوا بردارید؛ چرا که استفاده از روش گرمایش با اشعه مادون قرمز، بهترین راه است.
اگر در زمینه فرآوری نیمههادیها کار میکنید، میدانید که باید از هر ثانیهای به خوبی استفاده کرد. برای مدت طولانی، از روش گرمایش با هوای داغ استفاده میکردیم؛ اما در شرایط خلأ، این روش بسیار کند عمل میکند.
در اینجاست که روش گرمایش با اشعه مادون قرمز وارد صحنه میشود. به جای تلاش برای انتقال حرارت از طریق یک محیط غیرمناسب، اشعه مادون قرمز مستقیماً به سطح ویفر برخورد میکند؛ بدون نیاز به واسطهها و بدون نیاز به انتظار.
هزینه واقعی انتظار
فکر کنید به آن سیستمهای قدیمی گرمایش با هوای داغ؛ برای رسیدن ویفر به دمای مورد نظر، باید کل محفظه را گرم کرد. این کار، زمان فرآیند را به شدت افزایش میدهد.
اما با استفاده از روش گرمایش با اشعه مادون قرمز، این تأخیرات از بین میروند. میتوانیم زمان لازم برای گرم شدن ویفر را از ده دقیقه به حدود سی ثانیه کاهش دهیم. در کارخانههایی که حجم تولید بالاست، این موضوع فقط یک مزیت نیست؛ بلکه یک پیروزی بزرگ برای تعداد ویفرهای تولید شده در هر ساعت است.
نحوه عملکرد
ما فقط یک لامپ را در آنجا قرار نمیدهیم؛ این گرمکنها طوری طراحی شدهاند که بتوانند در محیطهای خلأ عمل کنند، بدون اینکه گازهای زائدی وارد سیستم شوند. ما از کوارتز با خلوص بالا و فیلامنتهای ویژه برای حفظ تمیزی محفظه استفاده میکنیم.
علاوه بر این، کنترل بیشتری نیز وجود دارد؛ میتوانید حرارت را به نواحی خاصی از ویفر ارسال کنید.
البته یک مشکل وجود دارد: این روش بسیار سریع عمل میکند. اگر تنظیمات PID صحیح نباشد، ممکن است دمای ویفر از حد مورد نظر بالاتر رود. بنابراین، به دستگاههای ترموکوپل با پاسخ سریع نیاز دارید تا اوضاع را تحت کنترل نگه دارند.
تمیز کردن محیط
یکی از بهترین مزایای این روش این است که دیگر نیازی به استفاده از بلوئرهای بزرگ، لولههای طولانی یا سیستمهای فیلتراسیون سنگین نیست. فقط کافی است لامپها را به سیستم برقی متصل کرده و آنها را در محفظههای منعکسکننده قرار دهید تا انرژی اضافی دوباره به ویفر منتقل شود.
فضای مورد نیاز برای نصب دستگاه کمتر میشود، سرعت فرآیند افزایش مییابد، و دیگر نیازی نیست برای گرم کردن هوا پول خرج کنید. حالا فقط برای زمانی که برای فرآوری سیلیکون لازم است، پول پرداخت میکنید.