سنسور دما برای ابزار ویفر
مقدمه هنگام پردازش ویفرها، دما صرفاً یک عدد روی صفحه نیست؛ بلکه خط تفکیک بین یک فرآیند کاملاً موفق و تولید محصولات ناکارآمد است. به همین دلیل، این...
گرمکن مادون قرمز برای تعمیر ابزار فاب
در کف کارخانه، میز تعمیر گزینهای اختیاری نیست—بلکه دروازه نهایی پیش از بازگشت ابزار به خط تولید است. انحراف تنها یک درجه از هدف، به صورت انحراف در...