Role
אתר הייצור, אפיית soft bake אינה חימום ראשוני. היא מגדירה את תקציב הליתוגרפיה, תקופה. אי-אחידות בטמפרטורה מתבטאת בשונות ב-CD (Critical Dimension), ותחזוקת ממס באה לידי ביטוי כ-footing, scum או חוסר סדירות בקצה הקו. אם תאפשר ל-bake לסטות, אתה מסתכן בכל המערכת.
הנה מה שחשוב מבחינה טכנית. מנורת ה-soft bake שלנו לשכבת הפוטורזיסט שומרת על אחידות במצב יציב ±0.1°C על פני כל הפלטה. החומרים תואמים לסיווג 1–100 של חדר נקי, והמכשיר מפיק אפס חלקיקים. אלמנטים באורך גל קצר בתחום התת-אדום מותאמים לפרופיל הספיגה של הפוטורזיסט, כך שהאנרגיה נכנסת לסרט, לא למצע. החזרות ±0.5°C בין אצוות, ושליטת העלייה בטמפרטורה מדויקת מספיק כדי לכבד את תקציב החום של צמתים מתקדמים ללא חריגה.
בהפקה, דרוש bake שמתנהג אותו דבר ב-3 בלילה כמו ב-3 אחה"צ. מנורה זו שומרת על נקודת ההגדרה על גודל הפלטות, מקטינה גרדיאנטים של ממס ומפחיתה את הצורך בפיצוי בזמן החשיפה. התוצאה: פחות תיקוני עבודה, תפוקה גבוהה יותר בפעימה ראשונה ובקרה יציבה על CD.
השימוש באנרגיה מותאם על ידי התייצבות מהירה ואיבודי המתנה נמוכים. העיצוב שומר על תחזוקה פשוטה — ללא מסלולי אוויר מורכבים, ללא נקודות חמות מוסתרות.
כמה דברים שצריך לזכור. המנורה דורשת ספק כוח נקי ובידוד תרמי מתאים כדי לשמור על המפרט ±0.1°C; נפילה במתח או הרכבה לא מדויקת עלולים לשנות את האחידות בכמה עשיריות. ההטמעה פשוטה, אך יש להתאים את המכשיר לגאומטריית הצבעה ולטיפול בפלטות.
אנו מתאימים את אזור החום לנשא ולמתכון שלך, וממליצים לאמת את ביצועי החלקיקים ביחס לזרימת האוויר הייחודית לחדר הנקי שלך. תכין את ההתאמה הזו נכון, ותקבל soft bake שניתן לשכפל, נקי ועל פי המפרט.