חיישן טמפרטורה לכלי עיבוד שבבים
הקדמה כאשר מעבדים שבבים, הטמפרטורה אינה סתם מספר על המסך – זו הגבול הדק שבין תהליך מושלם לבין ביצוע לא מוצלח של כל השבבים. לכן פיתחנו את חיישן...
מחמם אינפרא אדום לתיקון כלי ייצור
ברצפת הייצור, משטח התיקון אינו אופציונלי – הוא השער הסופי לפני שהכלי חוזר לייצור. סטייה של מעלה אחת מהיעד מתבטאת בהסטה על ה-wafer. אם גוף החימום אינו...