फैब फ्लोर पर, CVD चेंबर में तापीय स्थितियाँ केवल एक पैरामीटर ही नहीं होतीं… बल्कि ये ही प्रक्रिया का हिस्सा होती हैं। वेफर की सतह पर 1°C का अंतर भी फिल्म पर लगने वाले दबाव, निक्षेपण दर, एवं महत्वपूर्ण आयामों को प्रभावित कर सकता है। जब हीटर में तापमान में बदलाव होता है, तो प्रक्रिया रुक जाती है। हमने अपने CVD इन्फ्रारेड हीटरों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है, ताकि तापीय स्थितियाँ आधुनिक उत्पादन प्रक्रियाओं की आवश्यकताओं के अनुरूप रहें… यह डिज़ाइन के कारण ही संभव है, न कि केवल इच्छा के कारण।
प्रक्रिया के दौरान क्या महत्वपूर्ण है?
यह उपकरण शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्वों का उपयोग करके गर्मी को ठीक उस जगह पहुँचाता है, जहाँ उसकी आवश्यकता है… इससे वेफर पर तापमान स्थिर रहता है, एवं फिल्म की मोटाई एवं घटकों का अनुपात भी स्थिर रहता है। इस उपकरण की पुनरुत्पादन क्षमता भी उत्कृष्ट है… हर बार एक ही तापीय स्थिति बनी रहती है, इसलिए समय के साथ फिल्म की मोटाई एवं घटकों का अनुपात बदलता नहीं है। यह हीटर क्वार्ट्ज एवं मेटल-हैलाइड वातावरण में भी कार्य कर सकता है… इसका ऑपरेशन क्लास 1–100 में भी संभव है… एवं इससे कोई कण भी उत्पन्न नहीं होता। ऊर्जा आपूर्ति भी स्थिर रहती है… इसलिए रेसिपी में बदलाव के बाद भी तापमान जल्दी ही स्थिर हो जाता है… इससे बेकार का समय भी कम हो जाता है, एवं नियंत्रण भी बना रहता है।
वास्तविक CVD प्रक्रिया में यह उपकरण क्यों कारगर है?
CVD प्रक्रिया में, गैस के प्रवाह, दबाव में बदलाव, एवं बैच में बदलाव के बावजूद भी तापमान स्थिर रहना आवश्यक है… यह हीटर वेफर के सभी हिस्सों में तापमान को स्थिर रखता है… इससे निक्षेपण प्रक्रिया भी सुचारू रहती है… इससे उत्पादन दर बढ़ जाती है, एवं पुनर्कार्य की आवश्यकता भी कम हो जाती है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है… क्योंकि प्रतिक्रिया तेज़ होती है, एवं तापमान में अतिरिक्त बदलाव भी नहीं होता… इससे उपकरण 24/7 कार्य कर सकता है… एवं रखरखाव के लिए भी समय निर्धारित किया जा सकता है।
कौन-से तत्व महत्वपूर्ण हैं?
हीटर को चेंबर के साथ ठीक से मेल खाना आवश्यक है… माउंटिंग इंटरफेस, एपर्चर का आकार, एवं तापीय लोड पथ की जाँच चेंबर के OEM से करनी आवश्यक है… ऐसा न करने पर, भले ही ताप स्रोत स्थिर ही क्यों न हो, फिर भी स्थानीय तापमान अंतर उत्पन्न हो जाता है… शॉर्ट-वेव IR के लिए उचित शील्डिंग एवं ग्राउंडिंग भी आवश्यक है… वरना आसपास के फोटोरेजिस्ट प्रभावित हो सकते हैं… इसलिए इंटीग्रेशन की योजना पहले ही बनानी आवश्यक है… फिर ही ठीक से कार्य हो पाएगा।