फैब लैब में, “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं के द्वारा ही उत्पादन प्रक्रिया नियंत्रित की जाती है। थर्मल नियंत्रण कोई ऐसी चीज नहीं है जिसे समायोजित किया जा सके; बल्कि यह तो एक निश्चित सीमा ही है। बेकिंग के दौरान वेफर के तापमान में 2°C का अंतर भी महत्वपूर्ण आयामों को प्रभावित कर सकता है… चैंबर में मौजूद एक ही कण भी 300 मिमी आकार के वेफर को नष्ट कर सकता है। हमने फैब लैबों के लिए ऐसे उच्च-तापमान वाले ओवन बनाए हैं, ताकि वे ऐसी परिस्थितियों का सामना कर सकें, न कि उनसे लड़ सकें।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम प्रक्रिया क्षेत्र में तापमान की एकरूपता को ±0.1°C के स्तर पर बनाए रखते हैं… और हर बार भी इसी सीमा का ही पालन किया जाता है। गर्म क्षेत्र में क्वार्ट्ज एवं शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्वों का उपयोग किया जाता है, ताकि कम से कम ऊष्मा ही उत्पन्न हो… इससे रैम्प प्रोफाइल भी निर्धारित नियमों के अनुसार ही बनता है। चैंबर को क्लीनरूम क्लास 1–100 के मानकों के अनुसार ही डिज़ाइन किया गया है… इसमें कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों का उपयोग किया गया है… ताकि कणों का उत्पादन लगभग शून्य ही रहे। फोटोरेसिस्ट बेकिंग के लिए, इसका मतलब है कि विलायकों का निष्कासन एवं पॉलिमरों का प्रवाह भी निरंतर ही होता है… न तो अत्यधिक बेकिंग होती है, न ही कम बेकिंग।
दैनिक उत्पादन प्रक्रिया में यह कैसे काम करता है?
आपको ऐसा थर्मल प्रदर्शन चाहिए, जिससे उत्पादन प्रक्रिया में कोई रुकावट न हो। यह ओवन 24/7 काम करता है… और इसकी रखरखाव योजना भी पहले से ही तय होती है… ताकि कोई अप्रत्याशित रुकावट न हो। हर प्रक्रिया संबंधी जानकारी भी दर्ज की जाती है… ताकि हर बार एक ही तरह से ही प्रक्रिया पूरी हो सके। यही थर्मल प्लेटफॉर्म विभिन्न आकारों के वेफरों एवं बैचों के लिए भी काम कर सकता है… इससे उत्पादन प्रक्रिया में कोई बदलाव नहीं करना पड़ता… जिससे ऊर्जा की बचत होती है। ऊर्जा का प्रबंधन तेज़ स्थिरीकरण एवं कम स्टैंडबाय लॉस के द्वारा ही किया जाता है… यानी बिना किसी अनावश्यक ऊष्मा उत्पन्न हुए ही काम होता है।
प्रारंभ में क्या ध्यान देना आवश्यक है?
इंस्टॉलेशन हेतु विशेष एक्जॉस्ट सिस्टम एवं साफ, सूखी गैस सप्लाई आवश्यक है… जो उपकरण के मानकों के अनुरूप हो। यह ओवन स्टैंडर्ड फैब ऑटोमेशन सिस्टमों एवं SECS/GEM सिस्टमों के साथ भी काम कर सकता है… लेकिन इसे अपने मौजूदा सामग्री-प्रबंधन सिस्टम में जोड़ने हेतु आपको अपने विशिष्ट वेफर-प्रवाह सिस्टम के अनुसार ही इसका परीक्षण करना होगा। सबसे पहले इसकी एकरूपता एवं कणों से संबंधित प्रदर्शन की जाँच करें… एक बार ऐसा हो जाने के बाद, यह ओवन एक स्थिर प्रक्रिया-तत्व की तरह ही काम करेगा… न कि कोई चलता हुआ लक्ष्य।