फैब्रिकेशन लेवल पर, सॉफ्ट बेक या वेफर ड्राइंग के दौरान होने वाला थर्मल ड्रिफ्ट केवल एक बाधा ही नहीं है; बल्कि यह महत्वपूर्ण आयामों को प्रभावित करता है, जिससे उत्पादन दर कम हो जाती है। हमने मोलिब्डेनम-सहायता वाले इन्फ्रारेड लैंप विकसित किए, ताकि तापमान उस स्तर पर ही बना रहे, जैसा कि निर्देशों में बताया गया है… ऐसा तापमान जो पुनरावृत्त किया जा सके, एवं जो कमरे की परिस्थितियों पर निर्भर न हो।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
मोलिब्डेनम सहायता के कारण, क्लास 1–100 क्लीनरूमों में उच्च तापमान पर भी कम गैस निकलती है… इससे कणों की संख्या स्थिर रहती है। इन्फ्रारेड एमिटर के साथ मिलकर, यह सिस्टम वेफर की सतह पर तापमान को ±0.1°C के भीतर ही बनाए रखता है। प्रतिक्रिया तेज होती है… इसलिए सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक के दौरान तापमान पर नियंत्रण आसानी से रखा जा सकता है। 5,000+ घंटों तक भी उत्पादन दर स्थिर रहती है… तीव्रता में 5% से भी कम बदलाव होता है। यह लैंप सामान्य सेमीकंडक्टर ओवनों में भी उपयोग में आ सकता है… इसके ऑप्टिकल इंटरफेस एवं अलाइनमेंट भी बेहतरीन हैं।
व्यावहारिक रूप से यह कैसे काम करता है?
वेफर ड्राइंग के दौरान, इन्फ्रारेड रश्मियाँ सतह पर मौजूद नमी को तेजी से एवं समान रूप से हटा देती हैं… इससे कोई धब्बे या किनारों पर समस्याएँ नहीं होतीं। फोटोरेसिस्ट प्रसंस्करण में, ऐसा ही स्थिर तापमान एकसमान सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक सुनिश्चित करता है… इससे महत्वपूर्ण आयामों एवं साइडवॉल प्रोफाइलों पर नियंत्रण बना रहता है। परिणामस्वरूप, पुनर्कार्य कम हो जाता है… अपशिष्ट कम हो जाता है… एवं प्रक्रिया का समय भी कम हो जाता है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है… क्योंकि यह लैंप तय तापमान पर ही काम करता है, बिना किसी अतिरिक्त ऊर्जा के।
कौन-सी बातें महत्वपूर्ण हैं?
इस लैंप की स्थापना हेतु सटीक ऑप्टिकल अलाइनमेंट एवं स्थिर वोल्टेज आवश्यक है। वोल्टेज में उतार-चढ़ाव एवं गलत अलाइनमेंट से गर्म स्थान बन जाते हैं। चूँकि लैंप गर्म होता है, इसलिए इसकी सुरक्षा हेतु उचित उपाय आवश्यक हैं। थर्मल मैनेजमेंट हेतु उचित व्यवस्था आवश्यक है… ताकि आसपास के कंपोनेंट्स पर अतिरिक्त भार न पड़े। यदि ये बातें सही तरीके से पूरी की जाएं, तो प्रक्रिया सही तरीके से ही चलेगी… और यह लैंप लाइन का एक स्थिर, पुनरावृत्त किया जा सकने वाला हिस्सा बन जाता है।