हवा को गर्म करने में समय बर्बाद न करें: वैक्यूम-आईआर ही सही विकल्प है
यदि आप सेमीकंडक्टर उत्पादन में काम करते हैं, तो आपको पता ही होगा कि हर सेकंड कीमती होती है। लंबे समय से हम गर्म हवा का उपयोग करते रहे, लेकिन वैक्यूम वातावरण में ऐसा करना बहुत ही धीमी प्रक्रिया है।
यहीं पर वैक्यूम-अनुकूल इन्फ्रारेड (आईआर) हीटिंग का उपयोग किया जाता है। इसमें ऊष्मा को किसी माध्यम के माध्यम से भेजने की आवश्यकता ही नहीं है; इन्फ्रारेड विकिरण सीधे ही वेफर की सतह पर पहुँच जाता है। कोई मध्यस्थ नहीं… कोई इंतजार नहीं।
इंतजार की वास्तविक लागत
पुरानी गर्म हवा प्रणालियों के बारे में सोचिए… वेफर को वांछित तापमान तक पहुँचने से पहले ही पूरे चैंबर को गर्म करना पड़ता है। यह आपके कार्य-समय पर बहुत ही बुरा प्रभाव डालता है।
आईआर हीटिंग का उपयोग करने से यह देरी पूरी तरह से खत्म हो जाती है। टाइमिंग 10 मिनट से घटकर 30 सेकंड ही रह जाती है। उच्च मात्रा में उत्पादन करने वाली फैक्ट्रियों में यह बहुत ही बड़ा लाभ है।
यह कैसे काम करता है?
हम बस वहाँ बल्ब लगाकर ऊष्मा उत्पन्न नहीं करते। ऐसे हीटर उच्च-वैक्यूम वातावरण में भी काम कर सकते हैं, और सिस्टम में कोई अशुद्धता नहीं आती। हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज एवं विशेष फिलामेंटों का उपयोग करते हैं, ताकि चैंबर साफ रहे।
इसके अलावा, आपको अधिक नियंत्रण भी मिलता है… आप ऊष्मा को केवल वेफर के उस हिस्से पर ही भेज सकते हैं, जहाँ उसकी आवश्यकता है।
एक समस्या…
यह बहुत ही तेज़ है… लेकिन यदि PID ट्यूनिंग सही न हो, तो आपका तापमान निर्धारित स्तर से अधिक हो सकता है। ऐसी स्थिति में तेज़-प्रतिक्रिया वाले थर्मोकपलों का उपयोग आवश्यक है, ताकि सब कुछ स्थिर रहे।
सफाई की सुविधा
सबसे अच्छी बात यह है कि अब आपको वे भारी ब्लोअर, लंबी डक्टिंग, या भारी फिल्ट्रेशन सिस्टमों की आवश्यकता ही नहीं है। आप बस लैंपों को पावर रेल से जोड़कर उन्हें परावर्तक होल्डरों में लगा सकते हैं… ताकि अतिरिक्त ऊर्जा वापस वेफर पर ही पड़े।
इससे आपकी मशीन का आकार छोटा हो जाता है, प्रक्रिया की गति बढ़ जाती है… और आपको हवा को गर्म करने में लगने वाले समय के लिए पैसे खर्च करने की आवश्यकता ही नहीं है। अब आपको केवल सिलिकॉन को प्रसंस्कृत करने में लगने वाले समय के लिए ही पैसे खर्च करने होंगे।