फैब लेवल पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया केवल एक सामान्य तापमान-नियंत्रण चरण ही नहीं है; बल्कि यह उत्पादन दक्षता पर सीधा प्रभाव डालती है। यदि सॉफ्ट बेक या हार्ड बेक के दौरान आईआर हीटर में कोई त्रुटि हो जाती है, तो वेफरों के आकार में बदलाव हो जाता है, वेफर नष्ट हो जाते हैं, एवं उत्पादन प्रक्रिया रुक जाती है। हमने ऐसा वोल्टेज रेगुलेटर विकसित किया है, जो आईआर हीटर में होने वाली इन त्रुटियों को दूर करता है। यह रेगुलेटर, चाहे लाइन वोल्टेज में कितनी भी उतार-चढ़ाव हो, तब भी स्थिर वोल्टेज ही प्रदान करता है; इससे ऊष्मा-संबंधी मानक बने रहते हैं।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
यह रेगुलेटर, क्लीनरूम की परिस्थितियों में इन्फ्रारेड लैंपों के लिए ही विकसित किया गया है। यह स्थिर एवं कम शोर वाली बिजली प्रदान करता है, एवं इसका नियंत्रण बहुत ही सटीक है। इसके परिणामस्वरूप, वेफरों की सतह पर तापमान संयमित रहता है – लगभग ±0.1°C। इससे सीडी नियंत्रण एवं फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता भी बनी रहती है। यह रेगुलेटर कोई अतिरिक्त कण भी नहीं उत्पन्न करता, एवं इसके घटक क्लास 1–100 क्लीनरूमों में भी कार्य कर सकते हैं। 24/7 कार्य करने पर भी इसकी विफलता की संभावना नगण्य है; इसकी आयु लाखों घंटों तक हो सकती है।
लिथोग्राफी में इसका उपयोग क्यों उपयोगी है?
जब ऊष्मा की आवश्यकता होती है, तो इसे हर बार स्थिर रूप से ही प्रदान करना आवश्यक है। यह रेगुलेटर, पहले वेफर से लेकर अंतिम वेफर तक आईआर आउटपुट को स्थिर रखता है; इससे वेफरों के नष्ट होने एवं पुनर्कार्य की आवश्यकता नहीं पड़ती। तापमान में स्थिरता बढ़ने से प्रक्रिया और भी सटीक हो जाती है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि यह सिस्टम अतिरिक्त ऊर्जा के उपयोग को रोकता है। रखरखाव की आवश्यकता भी कम हो जाती है, क्योंकि इसमें लंबे समय तक कार्य करने वाले घटक ही उपयोग में आते हैं।
कुछ व्यावहारिक बातें…
रेगुलेटर को सही आईआर एमिटर एवं लोड कर्व के साथ ही उपयोग में लाना आवश्यक है, ताकि स्थिरता एवं गुणवत्ता संरक्षित रह सके। इसकी स्थापना हेतु सावधानीपूर्वक तापीय प्रबंधन एवं क्लीनरूम-उपयुक्त वायरिंग आवश्यक है, ताकि कोई गर्म बिंदु या संदूषण न हो। अपने विशिष्ट उत्पादन स्टेशनों के लिए PID पैरामीटरों को समायोजित करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है।