Hentikan pemborosan waktu untuk memanaskan udara: Mengapa penggunaan pemanas inframerah yang beroperasi dalam kondisi vakum merupakan solusinya
Jika Anda bekerja di bidang pemrosesan semikonduktor, Anda pasti tahu betapa pentingnya setiap detik yang digunakan dalam proses produksi. Selama ini, kita mengandalkan sistem pemanasan menggunakan udara panas. Namun, dalam kondisi vakum, prosesnya sangat lambat.
Inilah keunggulan penggunaan pemanas inframerah yang beroperasi dalam kondisi vakum. Alih-alih mencoba memanaskan suatu benda melalui media yang tidak ada, radiasi inframerah langsung mengenai permukaan wafer. Tidak perlu ada “perantara” atau waktu tunggu.
Biaya ekstra akibat waktu tunggu
Bayangkan saja sistem pemanasan udara panas yang lama. Anda harus memanaskan seluruh ruangan terlebih dahulu sebelum benda kerja mencapai suhu yang diinginkan. Hal ini tentu memperlambat proses produksi.
Dengan menggunakan pemanas inframerah, waktu tunggu tersebut bisa dikurangi drastis. Waktu yang diperlukan untuk memanaskan wafer bisa dikurangi dari 10 menit menjadi hanya 30 detik saja. Di fasilitas produksi skala besar, hal ini bukan sekadar keuntungan kecil—ini merupakan peningkatan yang signifikan dalam jumlah wafer yang dapat diproses per jam.
Cara kerjanya
Pemanas inframerah ini tidak menggunakan bola lampu biasa. Pemanas ini dirancang untuk beroperasi dalam kondisi vakum tanpa menyebabkan keluarnya zat-zat berbahaya ke dalam sistem. Kita menggunakan kuarsa berkualitas tinggi dan filamen khusus agar ruangan tetap bersih.
Selain itu, kita juga memiliki kontrol yang lebih baik. Daripada memanaskan seluruh area, kita dapat fokuskan panas pada bagian-bagian tertentu saja pada wafer yang memang membutuhkan panas.
Namun, ada satu hal yang perlu diperhatikan: pemanas ini bekerja sangat cepat. Jika penyetelan PID tidak tepat, suhu bisa melebihi batas yang diinginkan. Kita membutuhkan termokopel yang responsif agar suhu tetap stabil.
Manfaat lainnya
Salah satu keuntungan terbesarnya adalah kita tidak perlu lagi menggunakan alat-alat pemanas yang rumit, seperti blower besar, saluran udara yang panjang, atau sistem filtrasi yang berat. Kita hanya perlu menghubungkan lampu-pemanas tersebut ke sumber listrik, lalu memasangnya di dalam wadah reflektif agar energi yang terbuang kembali ke benda kerja. Dengan demikian, ruang yang dibutuhkan untuk mesin berkurang, kecepatan proses meningkat, dan kita tidak perlu membayar biaya untuk memanaskan udara. Kita hanya perlu membayar biaya untuk proses pemrosesan silikon saja.