バイオセンサーの製造工程で清潔を保つ方法
もし、クラス100のクリーンルームで作業しているなら、その厳しさはよくわかるでしょう。ほんのわずかなほこりや微小な破片だけで、大量のウェーハが台無しになってしまいます。本当に困ったことです。多くの場合、問題の原因はヒーターです。ちょうど必要な時に、ヒーターからガスが放出されたり、破片が剥がれ落ちたりするのです。
だからこそ、私たちは高純度の合成石英製のIRランプを使用するようにしました。
石英の重要性
一般的なガラスや安価な石英では、出力を上げると性能が低下してしまいます。実際、金属イオンが放出され、作業面に付着してしまいます。
私たちは、不純物がほとんど含まれていない融解シリカを使用しています。これにより、安定した状態が保たれます。出力を上げても、基板上に届く放射線はきれいな状態のままです。驚きや汚染の心配もありません。
適切な場所にのみ熱を与える
バイオセンサーの硬化や接着には、非常に特定の種類の熱が必要です。クリーンルーム全体をサウナのようにしてしまってはいけません。
私たちのランプは、エネルギーを基板上に集中させます。これにより、HVACシステムの負担が軽減され、部屋の温度も下がります。さらに、通常はほこりを舞い上がらせる空気の流れも防げます。
ただし、出力密度には注意が必要です。短い管を通して過剰な出力を送ると、莫大な熱が発生します。冷却装置がそれに対応できなければ、石英部分が破損してしまいます。これは、ランプを早く壊してしまう原因になります。
ランプの交換
私たちは、簡単に交換できるようにランプを設計しました。標準的なコネクタと正確な長さを使用しているため、ランプが壊れた時は、簡単に交換できます。再調整の手間もかかりません。
ただし、注意が必要です。これらのランプは非常に繊細です。高純度の石英は硬いですが、張力に弱いのです。どうか、油っぽい手袋で触らないでください。取り付け時は、糸くずのないウェップや真空掃除機を使用してください。これが、クラス100のクリーンルームの基準を維持する唯一の方法です。