なぜIR加熱に金を使うのか？ 半導体ウェーハを扱うクリーンルームで作業する際、エネルギーの無駄遣いは単なるコストの問題だけではありません。それは設計上の欠陥です。 一般的な反射材であれば問題ありませんが、赤外線を散乱してしまいます。その結果、熱の分布に不均一さが生じてしまいます。私たちはこれを解決するために、金コーティングを採用しました。 なぜ金なのか？それは、アルミニウムや研磨された鋼鉄よりも、赤外線波長をはるかに効果的に扱えるからです。ヒーターのケースがエネルギーを吸収する代わりに、ほぼすべてのエネルギーが正確にウェーハに届きます。 適切な熱の供給 重要なのは、光をどのように集中させるかということです。短波長のIRランプと、金コーティングされた放物面または楕円形の反射器を組み合わせることで、放射エネルギーを高密度の領域に集中させます。 その結果、温度上昇の時間が短縮され、熱分布もより均一になります。 これは非常に大きなメリットです。なぜなら、シリコンディスクが変形したり、化学気相成長が妨げられるといった問題が防げるからです。予測可能に動作します。 注意点（何事にも欠点はある） ただ、これらを使っただけではいけません。設置場所をしっかり確認する必要があります。 また、金は少し気難しい素材です。汚染を嫌います。指紋や薄いほこりが付着するだけで、効率が低下し、不均一な加熱になってしまいます。クリーンルームの規則を厳守し、常に清潔に保つ必要があります。 もう一つ、大量の熱を集中させるため、冷却システムに負担がかかります。冷却システムが十分でない場合、周囲のセンサーが破損する可能性があります。 メリット 最良の点は、目標温度に到達するために必要な電力が少なくて済むことです。 簡単な交換で、電源を交換したり、設備全体を再構築する必要はありません。既存のエネルギーをより効果的に利用できるのです。