この製品は、水素センサーの製造において、わずかな偏差も許されない。許容範囲を外れると、フォトレジストの形状が崩れてしまい、歩留まりが低下し、ウエハーが廃棄されてしまいます。私たちは、何度繰り返しても一定の温度を維持できるように、このヒーターを開発しました。
重要なポイント 石英エミッターを使用することで、短波長の赤外線が利用され、応答速度が速く、精度も高いです。ウエハー全体の温度均一性は±0.1℃以内であり、これにより、ソフトベイクやハードベイクの設定値を再現可能なものにします。また、低ガス放出設計と、熱サイクル中の粒子生成がないため、クリーンルームのクラス1～100でも問題なく使用できます。10,000回以上の使用でも、制御の再現性は±0.2℃以内です。また、計画外の停止もなく、24時間365日稼働可能です。仕様はシンプルで、入力電圧は200～240V、コンパクトなサイズで、既存の装置にも簡単に取り付けられます。また、標準的なコネクタがあるため、迅速に接続できます。
なぜ水素センサーの製造に適しているのか 水素センサーでは、センシング層と電極の界面が熱に敏感です。高い温度均一性により、ウエハーの端部分のバイアスが抑えられ、再加工の時間や廃棄される製品の量が減少します。高速で安定した温度上昇により、過剰な加熱や不足した加熱のリスクがなく、工程時間が短縮されます。また、ヒーターが迅速に目標温度に到達し、その温度を維持できるため、消費電力も削減されます。メンテナンスも容易で、ホットスポットや予期しない温度変動もありません。つまり、何度でも安定した加熱処理が可能です。
いくつかの注意点 ほとんどのウエハー処理装置に適合しますが、チャックとの熱的結合が装置の許容範囲内であることを確認してください。特定のフォトレジストを使用する場合は、適切な温度上昇曲線を設定するために、少しの調整が必要です。出力は安定していますが、大量生産時には石英エミッターの定期的な点検が必要です。事前にスケジュールを立てておけば、問題はありません。