왜 적외선 가열에는 금을 사용하는가?
반도체 웨이퍼를 다루는 청정실에서 작업할 때, 에너지를 낭비하는 것은 단순히 비용 문제가 아니라 설계상의 결함입니다.
대부분의 일반적인 반사체는 괜찮지만, 적외선을 흩뜨려버립니다. 그 결과 열 분포에 불균형이 생깁니다. 우리는 이 문제를 해결하기 위해 금 코팅을 사용했습니다.
왜 금일까요? 알루미늄이나 연마된 강철보다 적외선 파장을 훨씬 더 잘 처리하기 때문입니다. 히터가 에너지를 흡수하는 대신, 거의 모든 에너지가 정확히 웨이퍼에 도달합니다.
정확한 열 공급
모든 것은 빛을 어떻게 집중시키느냐에 달려 있습니다. 단파 적외선 램프와 금으로 코팅된 포물선형 또는 타원형 반사체를 함께 사용하여, 열 에너지를 고밀도 영역으로 집중시킵니다.
그 결과, 가열 속도가 빨라지고, 열 분포도 더욱 균일해집니다. 이는 실리콘 웨이퍼가 손상되거나 화학 기상 증착 과정에 문제가 생기는 것을 방지해줍니다.
단점들
물론, 그냥 설치해두고 방치할 수는 없습니다. 장치의 크기와 구조를 면밀히 확인해야 합니다.
또한 금은 깨끗함을 매우 중요하게 여깁니다. 반사체에 지문이라도 남거나 미세한 먼지가 있으면 효율성이 떨어지고 열 분포가 불균일해집니다. 청정실 관리를 철저히 해야 합니다.
또 한 가지, 열을 너무 많이 집중시키기 때문에 냉각 시스템에 부담이 가합니다. 만약 냉각 시스템이 제대로 작동하지 않으면 주변 센서들이 손상될 수 있습니다.
장점
가장 좋은 점은, 목표 온도에 도달하기 위해 필요한 에너지가 줄어든다는 것입니다.
간단한 교체만으로도 처리량을 높일 수 있습니다. 전력 공급 장치를 교체하거나 전체 시스템을 재구축할 필요가 없습니다. 이미 사용하는 에너지로 더 나은 성능을 얻을 수 있습니다.