와이어 프레스 도구에 낭비되는 열을 막아보세요. 실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 정확성이 매우 중요합니다. 하지만 일반적인 IR 장비를 사용해본 사람이라면 그 문제점을 잘 알 것입니다. 바로 낭비되는 열입니다. 그 성가신 적외선 에너지는 웨이퍼에 전혀 닿지 않고 진공 챔...

Fab 라인에서 포토레지스트 베이킹은 선택적인 열처리 단계가 아니라, 선폭 규격 달성과 전량 폐기 사이의 경계선이다. IR 램프가 편차를 시작하면, 소프트 베이크와 하드 베이크도 영향을 받는다. 용제가 완전히 휘발되지 않고, 노광 허용 범위가 무너진다. 이때 알루미늄...