Op de productielijn kan er een verschil van maar liefst 1,5°C optreden bij het zacht bakken van de fotoresist bij een temperatuur van 95°C. Hierdoor wordt de controle over de dikte van de lijnen in de volgende lithografiestap beïnvloed. Bij de productie van supergeleidende chips betekent dit niet alleen een verlies aan rendement, maar ook dat de productie mislukt.
Wat technisch belangrijk is
Voor de productie van supergeleidende chips hebben we een lamp ontworpen die gebruikmaakt van gecontroleerde stralingsverwarming en een hoge thermische uniformiteit. De temperatuur blijft binnen een marge van ±0,1°C over het hele oppervlak van de wafer. Hierdoor heeft de fotoresist altijd dezelfde temperatuur, ongeacht of het om zacht of hard bakken gaat.
Het ontwerp van de emitter zorgt voor een lage thermische massa, waardoor de lamp snel reageert op veranderingen in de omstandigheden. De lamp werkt in een schone omgeving van klasse 1–100, met een afgesloten behuizing en materialen die weinig gasen afgeven. Hierdoor stijgt het aantal deeltjes niet tijdens lange bakcycles. De gesloten regelingsloop zorgt ervoor dat de uitgangstemperatuur consistent blijft, waardoor de nauwkeurigheid van de afmetingen behouden blijft tot aan de etappen waarbij het materiaal wordt bewerkt.
Waarom het werkt
Supergeleidende lijnen vereisen een zeer nauwe controle op temperatuur en procesparameters. Met deze lamp blijven de temperatuurwaarden binnen de vereiste grenzen, zodat de hoeveelheid en de hechting van de fotoresist consistent blijven over het hele oppervlak van de wafer. Dit leidt tot een betere consistentie in de afmetingen en lijndiktes, minder herwerkingen en een betrouwbare werktijd. Omdat de lamp snel de gewenste temperatuur bereikt en deze vasthoudt, wordt er geen energie verspild en wordt er geen overbodige hitte gegenereerd.
Dingen om te weten
De lamp kan worden gebruikt in bestaande lithografieverwerkingsapparatuur, maar er is wel een aparte stroomvoorziening nodig. Ook moet de luchtcirculatie goed geregeld zijn om te voldoen aan de eisen voor een schone omgeving. Plan een korte testperiode in om de afstand tussen de lamp en de wafer in te stellen en de temperatuurregeling af te stemmen op uw specifieke apparatuur en recepten.