Прекратите тратить время на нагрев воздуха: почему именно инфракрасное обогревание является лучшим решением
Если вы работаете в области глубокой обработки полупроводников, вы знаете, каковы сложности этой работы. Необходимо максимально эффективно использовать каждую секунду времени. Долгое время мы полагались на циркуляцию горячего воздуха, но в вакууме это происходит крайне медленно.
Вот здесь и пригодится инфракрасное обогревание, подходящее для работы в вакууме. Вместо попыток передачи тепла через некий промежуточный материал, инфракрасные лучи напрямую воздействуют на поверхность пластины. Никаких промежуточных элементов, никакого ожидания.
Реальная стоимость ожидания
Подумайте о старых системах с горячим воздухом. Необходимо сначала нагреть всю камеру, прежде чем деталь сможет достичь нужной температуры. Это сильно замедляет процесс. Если использовать инфракрасное обогревание, такая задержка исчезает. Время подготовки сокращается с десяти минут до всего лишь тридцати секунд. В производстве с высокой производительностью это не просто «приятная особенность» — это значительный прирост количества обработанных пластин в час.
Как это работает на самом деле
Мы не просто используем лампы для обогрева. Эти устройства разработаны так, чтобы работать в условиях высокого вакуума без выделения вредных веществ в систему. Мы используем кварц высокой чистоты и специальные нитьфиламенты, чтобы сохранять чистоту в камере.
Кроме того, у вас появляется возможность более точного контроля за процессом. Вместо того чтобы нагревать всю поверхность, можно направлять тепло только на те участки пластины, которые действительно нуждаются в нем.
Но есть один недостаток: скорость обогрева очень высока. Если настройки PID не будут правильными, можно превысить заданную температуру, даже не заметив этого. Поэтому необходимы термокоппели с быстрой реакцией, чтобы поддерживать стабильную температуру.
Уменьшение размеров оборудования
Одним из преимуществ является то, что можно избавиться от лишних компонентов. Не требуются большие вентиляторы, сложные системы вентиляции или дорогостоящие фильтры, характерные для систем с горячим воздухом. Достаточно просто подключить лампы к источнику питания и расположить их в отражающих корпусах, чтобы отраженная энергия снова вернулась на поверхность пластины.
Таким образом, размеры оборудования уменьшаются, скорость обработки повышается, а вы перестаете тратить время на нагрев воздуха. Теперь вы платите только за время, необходимое для обработки самого кремния.