ทำไมเราถึงใช้ทองคำสำหรับการให้ความร้อนด้วยรังสีอินฟราเรด
เมื่อคุณทำงานในห้องปลอดภัยที่มี wafer ของชิปเซมิคอนดักเตอร์อยู่ การสูญเสียพลังงานไม่ใช่เรื่องของงบประมาณเท่านั้น แต่ยังเป็นข้อบกพร่องในการออกแบบอีกด้วย
ตัวสะท้อนแสงแบบมาตรฐานนั้นใช้ได้ดี แต่มันจะทำให้รังสีอินฟราเรดกระจัดกระจายไปทั่ว ส่งผลให้การแจกจ่ายความร้อนไม่สม่ำเสมอ เราจึงแก้ปัญหานี้โดยการใช้ตัวสะท้อนแสงที่เคลือบด้วยทองคำแทน
ทำไมต้องเป็นทองคำล่ะ? เพราะทองคำสามารถรับมือกับคลื่นความยาวของรังสีอินฟราเรดได้ดีกว่าอลูมิเนียมหรือเหล็กที่ขัดเงามาก ดังนั้นพลังงานที่ใช้จึงถูกส่งไปยัง wafer โดยตรง
การควบคุมความร้อนให้แม่นยำ
ทุกอย่างขึ้นอยู่กับวิธีการรวมแสงเข้าด้วยกัน เราใช้หลอดไฟอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นร่วมกับตัวสะท้อนแสงที่เคลือบด้วยทองคำ เพื่อรวมพลังงานแสงเข้าไว้ในบริเวณที่มีความหนาแน่นสูง
ผลลัพธ์คือ ช่วงเวลาในการให้ความร้อนจะสั้นลง และค่าความร้อนก็จะสม่ำเสมอมากขึ้น
นี่เป็นเรื่องที่สำคัญมาก เพราะมันช่วยป้องกันไม่ให้เกิดจุดร้อนที่ไม่สม่ำเสมอ ซึ่งอาจทำให้ wafer เสียหายหรือทำลายกระบวนการ Deposition ได้ การใช้ทองคำจึงช่วยให้การทำงานมีความแม่นยำมากขึ้น
ข้อเสีย (เพราะย่อมมีข้อเสียเสมอ)
คุณไม่สามารถใช้ทองคำได้โดยไม่คำนึงถึงข้อจำกัดต่างๆ คุณต้องดูแลความสะอาดของตัวสะท้อนแสงอย่างระมัดระวัง ทองคำเป็นวัสดุที่ไม่ชอบสิ่งสกปรกเลย แม้แต่รอยนิ้วมือหรือฝุ่นเล็กน้อยก็อาจทำให้ประสิทธิภาพลดลง คุณต้องปฏิบัติตามขั้นตอนการรักษาความสะอาดในห้องปลอดภัยอย่างเคร่งครัด
อีกอย่างหนึ่งคือ เนื่องจากเราใช้พลังงานมากขึ้น ระบบระบายความร้อนก็จะต้องทำงานหนักขึ้น หากระบบระบายความร้อนไม่ดีพอ อาจทำให้เซ็นเซอร์รอบๆ เสียหายได้
ข้อดี
สิ่งที่ดีที่สุดคือ คุณจะใช้พลังงานน้อยลงเพื่อให้ได้อุณหภูมิที่ต้องการ
มันเป็นการเปลี่ยนแปลงที่ง่ายมาก คุณจะได้ประสิทธิภาพที่ดีขึ้นโดยไม่ต้องเปลี่ยนอุปกรณ์หรือสร้างระบบใหม่ทั้งหมด คุณจะได้รับประโยชน์สูงสุดจากพลังงานที่มีอยู่