Wafерlerin Kurutulma Sürecindeki Sorunları Önlemek
Yüksek yük altında wafерlerin kurutulması oldukça zorlu bir süreçtir. Bir lamba bozulduğunda sadece birkaç dakikalık üretim kaybı söz konusu değildir. Eğer kuvars tüpü patlarsa, cam parçaları ve halojen artıkları doğrudan wafерlerin üzerine düşer. Bu gerçekten de korkunç bir durumdur; tek bir patlama sonucunda tüm ürünler boşa gider.
Bunu engellemek için reflektör kullanıyoruz. Kulağa basit geliyor olsa da aslında iki işlevi birden yerine getirir: Hem fiziksel bir bariyer görevi görür hem de ısıyı yoğunlaştırır.
“Güvenlik Ağı” Etkisi
Reflektörleri sadece ışığı yansıtmak için kullanmıyoruz. IR kaynağını yüksek saflıkta alüminyum veya altın kaplamalı bir kabın içine yerleştiriyoruz. Bunu bir koruma kılıfı olarak düşünebilirsiniz. Lamba basınç altında bozulursa, reflektör parçaları yakalar. Böylece parçacıklar silikonun üzerine düşmek yerine kılıfın içinde kalır. Bu da potansiyel bir felaketi kontrol altına almayı sağlar.
Isının Doğru Şekilde Dağıtılması
Ayrıca fiziksel faktörler de önemlidir. Bu reflektörleri, mümkün olduğunca fazla kızılötesi ışığı doğrudan wafерin üzerine yönlendirecek şekilde tasarladık. Işığın yayılmasını sınırlayarak, wattajı artırmadan daha yüksek ısı yoğunluğu elde ediyoruz. Bu da lambanın daha soğuk çalışmasını sağlar ki bu da her zaman olumlu bir durumdur.
Ancak burada bir sorun var: Reflektörler işlerini o kadar iyi yapıyor ki, ısıyı lambanın içinde tutuyor. Bu durumda soğutma fanlarının veya su jaketlerinin bu ekstra ısıyı idare edebilmesi gerekiyor. Aksi takdirde filamentin daha erken yanmasına neden olursunuz.
Teknisyenler İçin Kolaylık Sağlamak
Bu reflektörleri kolayca değiştirilebilecek şekilde tasarladık. Lambanın odak noktasıyla mükemmel şekilde uyum sağlarlar; böylece tüm wafер üzerinde eşit bir ısı dağılımı sağlanır. Bir tüp bozulduğunda kurutma odasının içine girip uğraşmak zorunda kalmazsınız. Sadece tüm parçaları çıkarırsınız. Bu da teknisyenlerin odanın çok yakınına gelmesini engeller. Hiçbir kirlilik olmadan, temiz ve hızlı bir değişim sağlanır.
Son bir ipucu: Reflektörleri parlak tutun. Eğer oksitlenirse, verimliliğiniz düşer ve lambalar bunu telafi etmek için daha çok çalışmak zorunda kalır. Onları parlak tutarsanız her şey daha sorunsuz ilerler.