На виробничому майданчику ви знаєте процедуру: відхилення температури на півградуса під час soft bake або hard bake може змістити критичні розміри та знизити вихід продукції. Нагрівач для пластин 2026 року розроблений під процесне вікно, яке ми фактично використовуємо — суворий тепловий контроль, чиста робота та повторюваність зміну за зміною.
Що важливо всередині
Ми застосовуємо короткохвильове інфрачервоне випромінювання з кварцово-галогенним джерелом та розподіленою, керованою по замкненому контуру зоною. Результат — рівномірність температури по всій пластині в межах ±0,1°C на підкладках розміром 150–300 мм. Швидкість підйому температури досягає 10°C/с із контрольованим перевищенням, що дозволяє зберегти цілісність тонких плівок і підтримувати тепловий бюджет під контролем.
Температура поверхні вимірюється in situ, а виконання рецепта забезпечує стабільність заданої температури з відхиленням ±0,5°C під навантаженням. Сумісність із чистими приміщеннями не є додатковою опцією — клас роботи 1–100, нульове утворення часток підтверджено вбудованим моніторингом, а вивід відпрацьованих газів спрямований так, щоб запобігти їх переносу на сусідні інструменти. Живлення — 24 V DC із відповідною за стандартом CE ізоляцією, а габарити достатньо компактні для інтеграції у стандартні хендлери та лінії нанесення/випікання.
Чому це важливо для фоторезисту
Обробка фоторезисту не терпить неточного нагріву. Soft bake забезпечує видалення розчинника та адгезію. Hard bake фіксує стійкість до травлення та цілісність малюнка. Підтримка цих етапів при стабільній температурі дає більш точний розподіл CD, менше дефектів і знижує потребу в доопрацюваннях.
Енергоспоживання знижується завдяки швидкому переходу до витримки та низькому енергоспоживанню в режимі очікування. Іншим плюсом є надійність — польові дані показують MTBF понад 20 000 годин, а інтервали сервісного обслуговування складають 8 000 годин для заміни лампи та калібрування сенсора.
Що слід врахувати при плануванні
Монтаж зводиться до перевірки тиску витяжки та правильного заземлення — мікровібрації можуть позначатися на вирівнюванні, якщо будь-який із цих параметрів не дотриманий. Інструмент підтримує протокол SECS/GEM для інтеграції, але комплекти для модернізації залежать від моделі лінії. Перед плануванням заміни переконайтеся у сумісності механічного кріплення та протоколу.
Також проведіть коротку кваліфікацію для фіксації швидкостей підйому температури та часу витримки для вашого шару резисту.