فیبرکی فلور پر، آپ کو تو معلوم ہی ہے کہ فوٹو ریزسٹ کو گرم کرنے کے دوران 1°C کا فرق بھی اہم کردار ادا کرتا ہے؛ اس سے ویفروں کے ابعاد متاثر ہو جاتے ہیں، اور بہت سے ویفر بیکار ہو جاتے ہیں۔ ہم نے اپنے سیمی کنڈکٹر انفراریڈ ہیٹنگ لیمپوں کو اس مسئلے کو حل کرنے کے لئے تیار کیا ہے۔
کیا چیزیں اہم ہیں؟
ہم کوارٹز کے خول کے ساتھ شارٹ-ویو انفراریڈ روشنی استعمال کرتے ہیں؛ اس طرح حرارت براہِ راست، تیزی سے، اور قابو میں رہتی ہے۔ ویفر کی سطح پر درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر ہی رہتا ہے، جس سے درجہ حرارت کے فرق سے پیدا ہونے والی مشکلات دور رہتی ہیں۔ یہ لیمپ کلاس 1–100 کے صاف کمروں میں استعمال ہوتے ہیں، اور انسٹینٹ مانیٹرنگ سے یقین ہوتا ہے کہ کوئی ذرہ پیدا نہیں ہو رہا۔ آؤٹ پٹ کی درستگی ہر بار 0.5% کے اندر رہتی ہے، اور حرارتی استحکام 5,000 گھنٹوں سے زیادہ عرصے تک برقرار رہتا ہے، جبکہ آؤٹ پٹ میں 5% سے کم کمی ہوتی ہے۔
لیتھوگرافی میں اس کی اہمیت کیوں ہے؟
لیتھوگرافی میں، یہ استحکام “سافٹ بیک” اور “ہارڈ بیک” کے عمل کو بہتر بناتا ہے۔ سی ڈی کنٹرول بہتر ہو جاتا ہے، اور دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، کیونکہ ہر بار بیکنگ عمل یکساں رہتا ہے۔ لیمپ جلدی ہی مطلوبہ درجہ حرارت تک پہنچ جاتا ہے، اس لئے بیکنگ کا وقت کم کیا جا سکتا ہے، بغیر فوٹو ریزسٹ کے حرارتی بجٹ کو خراب کیے۔
ویفروں کی صفائی اور خشک کرنے میں اس کی اہمیت کیا ہے؟
کنٹرولڈ، یکساں حرارت سے سطح پر کم خرابیاں پیدا ہوتی ہیں، اور کناروں پر بھی کم مشکلات پیش آتی ہیں۔ اور توانائی کی بچت بھی ہوتی ہے، کیونکہ لیمپ صرف ہدف کو گرم کرتا ہے، نہ کہ کمرے کی دیواروں کو۔
عملی پہلوؤں کو نظر انداز نہیں کیا جا سکتا
انستالیشن کو درست طریقے سے کرنا ضروری ہے؛ آپٹیکل الائنمنٹ بالکل درست ہونی چاہیے، اور پاور کنڈیشننگ کی بھی ضرورت ہے تاکہ آؤٹ پٹ میں کوئی خرابی نہ آئے۔ لیمپ معیاری OEM فکسچرز کے ساتھ کام کرتا ہے، لیکن تھرمل کلیرنس اور EMI شیلڈنگ کو بھی مدِ نظر رکھنا ضروری ہے۔ اور باقاعدگی سے کیلیبریشن کرنا بھی ضروری ہے، خاص طور پر لیمپ تبدیل کرنے کے بعد، تاکہ یکسانیت برقرار رہے۔