Hãy ngừng lãng phí thời gian vào việc làm nóng không khí đi: Tại sao việc sử dụng phương pháp sưởi bằng tia hồng ngoại trong môi trường chân không lại là giải pháp tốt nhất?
Nếu bạn làm việc trong lĩnh vực chế tạo chip bán dẫn, bạn chắc hẳn hiểu rõ tình trạng này. Bạn phải cố gắng tối ưu hóa mọi giây phút để hoàn thành công việc. Trong thời gian dài, chúng ta vẫn sử dụng phương pháp làm nóng bằng không khí nóng, nhưng trong môi trường chân không, phương pháp này thật sự kém hiệu quả. Quá trình làm nóng diễn ra rất chậm.
Đó chính là lý do tại sao phương pháp sưởi bằng tia hồng ngoại trong môi trường chân không lại trở thành giải pháp tuyệt vời. Thay vì cố gắng truyền nhiệt qua một môi trường không tồn tại, tia hồng ngoại có thể trực tiếp chiếu vào bề mặt wafer. Không cần bất kỳ trung gian nào, và cũng không cần chờ đợi.
Chi phí của việc chờ đợi
Hãy nghĩ về những hệ thống làm nóng bằng không khí nóng cũ kỹ kia. Bạn phải làm nóng toàn bộ buồng trước khi chi tiết cần xử lý đạt đến nhiệt độ mong muốn. Điều này khiến quy trình xử lý bị chậm lại đáng kể.
Nhưng với phương pháp sưởi bằng tia hồng ngoại, thời gian chờ đợi sẽ giảm drastically. Thời gian cần thiết để làm nóng wafer có thể giảm từ 10 phút xuống còn khoảng 30 giây. Đối với các nhà máy sản xuất với khối lượng lớn, đây không chỉ là một lợi ích nhỏ, mà còn là một lợi thế lớn cho hiệu suất sản xuất.
Cách thức hoạt động
Chúng ta không chỉ đơn giản là lắp một bóng đèn vào đó thôi. Những thiết bị sưởi này được thiết kế để hoạt động trong môi trường chân không mà không gây ra hiện tượng rò rỉ khí độc vào hệ thống. Chúng ta sử dụng thủy tinh thạch anh có độ tinh khiết cao cùng các sợi dây đặc biệt để giữ buồng xử lý luôn sạch sẽ.
Ngoài ra, bạn còn có thể kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác hơn. Thay vì làm nóng toàn bộ khu vực, bạn có thể tập trung nhiệt lượng vào những vùng cần thiết trên bề mặt wafer.
Tuy nhiên, cũng có một điểm cần lưu ý: phương pháp này rất nhanh. Nếu việc điều chỉnh nhiệt độ không được thực hiện đúng cách, bạn có thể bị vượt quá mức nhiệt độ mong muốn mà không hề nhận ra. Bạn cần sử dụng các cảm biến nhiệt độ có khả năng phản ứng nhanh để duy trì nhiệt độ ổn định.
Lợi ích của việc sử dụng phương pháp này
Một trong những ưu điểm tuyệt vời của phương pháp này là bạn có thể loại bỏ những thiết bị phức tạp như máy thổi khí, hệ thống ống dẫn khí, hay các hệ thống lọc khí cồng kềnh. Bạn chỉ cần kết nối các bóng đèn với nguồn điện và lắp chúng vào khung phản quang để tái sử dụng năng lượng thừa.
Diện tích cần sử dụng cho máy móc sẽ giảm đi, tốc độ xử lý sẽ tăng lên, và bạn cũng không cần phải trả tiền cho việc làm nóng không khí nữa. Bạn chỉ cần trả tiền cho thời gian cần thiết để xử lý silicon thôi.