红外加热与热空气加热：培养碳纳米管的更佳方式
如果你曾经尝试过制造碳纳米管，那你就知道其中的难点所在。为了保持稳定的生长环境，必须找到最佳的温度平衡点。目前大多数传统方法都是依靠热空气循环来实现的。
但说实话，这种方法效率很低。因为依赖对流作用，所以需要花费大量时间等待腔体达到目标温度。这无疑是一种时间上的浪费。
减少等待时间
这时，红外加热就派上用场了。与其试图加热房间里的所有空气分子，红外加热则利用电磁辐射直接作用于基底。这样一来，加热速度会快得多——从几分钟缩短到几秒钟而已。在半导体深加工过程中，每批次节省下来的时间其实相当可观。
面临的挑战
不过，事情并没有那么简单。红外加热的功率非常大，热量分布也非常集中。如果基座的位置稍有偏差，就会产生局部过热现象，从而影响碳纳米管的排列。因此，必须精确控制焦距。此外，由于红外加热的反应速度极快，PID控制器也需要更加精确地调节。如果仍然使用与热空气系统相同的设置，很可能会使温度超过目标值，从而导致催化剂损坏。
优化工作环境
最棒的是，使用红外加热后，机器的体积会大大缩小。整个工作环境也会变得更为整洁。由于不再需要那些复杂的管道系统，机械故障的风险也会降低。这样一来，就能获得更快的加工速度以及更稳定的温度环境，非常适合用于制造高纯度芯片。这显然是非常合理的做法。