为什么我们选择黄金作为红外加热材料？
在处理半导体晶圆的洁净室中，浪费能源不仅意味着成本问题，更是一种设计上的缺陷。
虽然大多数普通反射器也能发挥作用，但它们会散射红外辐射，导致热量分布不均。为了解决这个问题，我们采用了镀金反射器。
为什么选黄金呢？因为黄金对红外波长的反射效果远优于铝或抛光钢。这样一来，几乎所有的能量都能直接作用于晶圆上，而不会被加热器外壳吸收掉。
如何实现精确控温？
关键在于如何聚焦光线。我们会将短波红外灯与镀金而成的抛物面或椭圆形反射器结合使用，从而将辐射能量集中到特定的区域。
这样做的结果就是：升温速度更快，温度控制也更精准。这非常重要，因为可以避免因局部过热而导致的硅片变形或化学气相沉积过程受到干扰。整个系统的工作效率也会更高。
当然，也有缺点……
不过，这种装置并非无需任何维护。必须确保其工作环境绝对干净。只要反射器上有哪怕是一点灰尘或指纹，都会降低其效率，导致加热不均匀。因此，必须严格遵守洁净室的标准，保持反射器的清洁。
另外，由于我们需要集中大量的热量，冷却系统也会面临巨大压力。如果冷却系统无法承受这样的负荷，就有可能损坏周围的传感器。
好处是什么？
最棒的是，为了达到目标温度，所需的能量反而更少了。其实，这只是简单的替换而已——无需更换电源或重新搭建整个系统，就能获得更高的效率。也就是说，你能以更低的成本获得更好的效果。