MEMS传感器晶圆干燥加热器

如何正确干燥MEMS晶圆（避免污染问题） 在干燥MEMS传感器时，热量只是其中一半的因素。真正的挑战在于如何防止颗粒物对晶圆的污染。 如果你在100级洁净室中工作，那么你就知道，哪怕有极少量的气体释放或加热元件产生的微小碎片，都会导致整批晶圆报废。这种工作环境实在令人压力巨大。因此，我们选择使用高...