في أرض المصنع، أنت تعرف الإجراء: انحراف نصف درجة مئوية أثناء الـ soft bake أو الـ hard bake يمكن أن يغير الأبعاد الحرجة ويقلل من العائد. تم تصميم سخان الرقاقة 2026 بناءً على نافذة العملية التي نستخدمها فعليًا—تحكم حراري دقيق، تشغيل نظيف، وتكرارية دقيقة من وردية لأخرى.
ما يهم تحت الغطاء
نستخدم الأشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة مع مصدر كوارتز-هالوجين ومصفوفة مناطق مغلقة ومُرسَمة. النتيجة هي توحيد على مستوى الرقاقة ضمن ±0.1°C عبر ركيزة بحجم 150–300 mm. معدلات ارتفاع الحرارة تصل إلى 10°C/s مع تحكم في التجاوز، مما يحافظ على سلامة الطبقات الرقيقة ويتحكم في الميزانية الحرارية.
يتم قياس درجة حرارة السطح في مكانها الفعلي، وتنفيذ الوصفة يحافظ على استقرار نقطة الضبط ضمن ±0.5°C تحت الحمولة. التوافق مع غرف النظافة ليس إضافة—تشغيل من الفئة 1–100، بدون توليد جزيئات حسب التحقق بالمراقبة الخطية، وتوجيه عادم يمنع تسرب الغازات إلى الأدوات المجاورة. الطاقة 24 V DC بعزل متوافق مع CE، والمساحة المطلوبة صغيرة بما يكفي للتركيب في أجهزة المناولة القياسية ومسارات الطلاء والخبز.
لماذا هذا مهم للفوتوريزست
معالجة الفوتوريزست لا تتحمل التسخين غير الدقيق. الـ soft bake يحدد إزالة المذيب والالتصاق. الـ hard bake يثبت مقاومة الحفر وسلامة النمط. الحفاظ على هذه الخطوات عند درجات حرارة مستقرة ينتج عنه توزيع أبعاد حرج (CD) أكثر دقة، عيوب أقل، وإعادة عمل أقل.
استهلاك الطاقة ينخفض لأن الانتقال إلى درجة الحرارة المطلوبة سريع والطاقة في وضع الاستعداد منخفضة. زمن التشغيل الفعال هو المكسب الآخر—بيانات الميدان تشير إلى MTBF أعلى من 20,000 ساعة، مع فترات صيانة كل 8,000 ساعة للمصباح ومعايرة المستشعر.
ما تحتاج إلى التخطيط له
التركيب يعتمد على التحقق من ضغط العادم والتأريض السليم—الاهتزازات الدقيقة يمكن أن تؤثر على المحاذاة إذا كان أي منهما غير صحيح. الأداة تدعم بروتوكول SECS/GEM للتكامل، لكن مجموعات التعديل تختلف حسب نموذج المسار. تأكد من التوافق الميكانيكي ومطابقة البروتوكول قبل جدولة التغيير.
وأجرِ تأهيلًا قصيرًا لتثبيت معدلات الارتفاع وأوقات الانتظار لمكدس الفوتوريزست الخاص بك.