تجفيف on Extra Performance IR Heating

مسخن تجفيف رقاقة مستشعر MEMS

Mon, 27 Jul 2026 06:35:26 +0800

كيفية تجفيف رقاقات MEMS بشكل صحيح (بدون مخاطر التلوث)
عند تجفيف أجهزة استشعار MEMS، فإن الحرارة ليست سوى نصف المعادلة؛ المعركة الحقيقية تكمن في التخلص من الجسيمات الدقيقة.
إذا كنت تعمل في غرفة نظيفة من الفئة 100، فأنت تعرف جيدًا المشكلة: أي كمية صغيرة من الغازات المنبعثة أو أي جزيئات صغيرة ناتجة عن عنصر التسخين قد تدمر كل دفعة من الرقاقات. إنها طريقة عمل مرهقة للغاية. لذلك، نستخدم مصابيح الكوارتز الاصطناعية عالية النقاء.
لماذا الكوارتز مهم؟
الزجاج الرخيص أو الكوارتز ذو الجودة المنخفضة لا يستطيع تحمل هذا الضغط. بعد عدد قليل من الدورات الحرارية، يبدأ في التفكك وإطلاق جسيمات دقيقة، وهو أمر سيء للغاية.
نستخدم السيليكا المنصهرة عالية النقاء، لأنها تظل صلبة في درجات الحرارة المرتفعة ولا تطلق أي غازات. الجزء المميز في ذلك هو أن الإشعاع تحت الأحمر يصيب الماء الموجود على سطح الرقاقة مباشرة، مما يؤدي إلى تبخر الماء فورًا، دون أن يتحول الفرن بأكمله إلى بيئة حارة.
تفاصيل التصميم
نحن نجعل هذه المصابيح صغيرة الحجم حتى تتناسب مع الأجهزة المستخدمة. كما أن الغلاف الخارجي للمصباح محكم الإغلاق، لمنع أكسدة الفيلامنت، وهو ما يؤدي عادةً إلى التلوث. من خلال التحكم في دورة الهالوجين داخل الأنبوب، نحافظ على سلاسة الفيلامنت ونمنع حدوث تشققات فيه.
لكن يجب أن تختار كثافة الطاقة المناسبة لحجم الرقاقة المستخدمة. بالطبع، زيادة القدرة الكهربائية تسرع عملية التجفيف، لكنها تزيد أيضًا من الضغط على أنظمة التبريد. إذا زدت الضغط أكثر من اللازم، فقد يؤدي ذلك إلى تشوه الرقاقة. المهم هو إيجاد التوازن المناسب بين الطول والقدرة الكهربائية، حتى يتم توزيع الحرارة بشكل متساوٍ على كامل الرقاقة.
بعض النصائح للتركيب
هذه المصابيح يمكن استخدامها بدلاً من مصابيح التجفيف التقليدية في أجهزة MEMS. نحن استخدمنا موصلات قياسية، لذا لن تواجه أي مشاكل في التوصيلات الكهربائية.
لكن تذكّر: الكوارتز عالي النقاء هش للغاية. إنه يحب الحرارة، لكنه يكره الصدمات الميكانيكية. أي صدمة أثناء التركيب قد تسبب تشققات دقيقة لا يمكن رؤيتها.
ومن الأفضل استخدام قفازات خالية من الوبر، لأن الزيوت الموجودة في الجلد قد تسبب نقاط حرارية على سطح الزجاج، مما يؤدي إلى تلف الأنبوب بسرعة.

تدقيق الطاقة لمجفف المصنع

Thu, 23 Jul 2026 11:52:57 +0800

لماذا تتخلى مصانع أشباه الموصلات عن الأفران التقليدية وتستخدم أجهزة التعقيم بالأشعة تحت الحمراء؟
إذا قضيت بعض الوقت في إحدى هذه المصانع مؤخرًا، فمن المحتمل أنك لاحظت شيئًا: أولئك الأفران الكبيرة والثقيلة بدأت تختفي تدريجيًا. الناس يتجهون نحو استخدام أجهزة التعقيم بالأشعة تحت الحمراء بدلاً من ذلك. لماذا؟ لأن تسخين غرفة بأكملها فقط لتجفيف قطعة صغيرة من السيليكون يعتبر إهدارًا للطاقة. أما أجهزة التعقيم بالأشعة تحت الحمراء، فهي تؤثر مباشرة على المادة المراد تعقيمها. ولهذا السبب، فإن المواصفات “الصديقة للبيئة” أو “خالية من الرصاص” تشير دائمًا إلى استخدام أجهزة التعقيم بالأشعة تحت الحمراء.

لوحة الأشعة تحت الحمراء لتجفيف رقاقات المناطق المحددة

Thu, 02 Jul 2026 08:57:34 +0800

في أرضية المصنع، لا يترك تقنيات الإنتاج بحجم 5 نانومتر أي مجال للخطأ. فارق درجة حرارة قدره 0.3 درجة مئوية على سطح الرقاقة قد يؤدي إلى تغيير في مواصفات الرقاقة، كما قد يترك آثارًا من المواد الكيميائية بعد عملية النقش. أما الطرق التقليدية للتجفيف، فهي لا تزال تترك الحواف رطبة. أما الطرق التي تعتمد على الدوران فقط، فهي تُهدر المذيبات، كما تسبب مشاكل في التخلص من الجسيمات الدقيقة.

لذلك، قمنا بتطوير لوحة إشعاع تحت الأحمر مزودة بنظام تحكم متعدد المناطق، للتخلص من هذه المشاكل في نفس المكان الذي تخرج منه الرقاقة من عملية الغسيل.