ফ্যাব ফ্লোরে, ৫ ন্যানোমিটার নোডে কোনো ধরনের ভুল হওয়ার সুযোগই নেই। ওয়েফারের উপর ০.৩°C তাপমাত্রার পার্থক্যও CD-এ পরিবর্তন ঘটাতে পারে; আর ইটচিং-এর পর ফটোরেজিস্টের অবশেষগুলো থেকে যায়। আর সাধারণ শুকানোর পদ্ধতি? আপনি তো জানেন—কিনারাগুলো তখনও আর্দ্র থাকে। শুধুমাত্র স্পিন করার পদ্ধতিতে সলভেন্ট অপচয় হয়, আর কণাগুলো সৃষ্টি হওয়ার ঝুঁকি থেকে যায়।
আমরা এমন একটি জোনড ইনফ্রারেড প্যানেল তৈরি করেছি, যা ওয়েফারটি পরিষ্কার জল থেকে বের হওয়ার সময় এই অনিশ্চয়তাগুলো দূর করে। এর মূল উপাদান হলো শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড রশ্মি; প্রতিটি জোনে তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে। ফলে পুরো ওয়েফারটি একই তাপমাত্রা পায়। এই প্যানেলটি পাতলা; ক্লাস ১–১০০ ক্লিনরুমগুলোর জন্য উপযুক্ত। এর ফলে কণাগুলো সৃষ্টি হওয়ার ঝুঁকি শূন্যের কাছাকাছি থাকে।
এর ফলে ফটোরেজিস্টকে অতিরিক্ত চাপ দিয়ে শুকানোর দরকার হয় না। “সফ্ট বেক” ও “হার্ড বেক” প্রক্রিয়াগুলো ঠিকই কাজ করে; আর প্যাটার্নযুক্ত ওয়েফারগুলো থেকে অবশিষ্ট ফিল্মগুলো সহজেই অপসারিত হয়।
বাস্তবে, এর ফলে প্রক্রিয়ার সময় ও উৎপাদন ক্ষমতা বৃদ্ধি পায়। শুকানোর সময় কমে যায়, কারণ শক্তি ফিল্মের উপর পড়ে, ক্যারিয়ারের উপর নয়। শক্তি ব্যবহারও কমে যায়, কারণ শুধুমাত্র সক্রিয় জোনগুলোই কাজ করে। ২৪/৭ কাজ করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে; আর মডিউলগুলো সহজেই প্রতিস্থাপন করা যায়।
ফলে নিয়মিতভাবে ওয়েফারগুলো শুকানো যায়; সলভেন্ট ব্যবহার কমে যায়; আর লিথোগ্রাফি ও ইটচিং প্রক্রিয়ার মাধ্যমে CD-এর নিয়ন্ত্রণও ভালো হয়।
ইনস্টলেশনটি সহজ; কিন্তু চেম্বারের জ্যামিতি খুবই গুরুত্বপূর্ণ। প্যানেলটি চাকের সাথে মিলে যাওয়া উচিত; আর রোবটের এন্ড-ইফেক্টরগুলোর জন্য পর্যাপ্ত জায়গা থাকা উচিত। এটি স্ট্যান্ডার্ড ইন্টারফেসের মাধ্যমে বিদ্যমান নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থার সাথে সংযুক্ত হয়। জোন ম্যাপগুলো আপনার প্রক্রিয়ার সাথে মিলিয়ে নেওয়া খুবই সহজ। শুধুমাত্র ভোল্টেজ ও কানেক্টরের ধরণ নির্ধারণ করলেই হবে; এতে পুনরায় কাজ করার দরকার হবে না।
জোনড ইনফ্রারেড ড্রাইং পদ্ধতিটি সব লাইনের জন্য উপযুক্ত নয়। এটি সেইসব লাইনের জন্য উপযুক্ত, যেখানে তাপীয় সামঞ্জস্যই সবচেয়ে বড় সমস্যা। যদি আপনার লাইনটি উন্নত নোডে উৎপাদন করতে চায়, তাহলে এই প্যানেলটি আপনাকে প্রয়োজনীয় নিয়ন্ত্রণ দেবে।