আইআর on Extra Performance IR Heating

ওয়েফারের জন্য উচ্চ নির্ভুলতাসম্পন্ন আইআর সেন্সর

Tue, 21 Jul 2026 04:13:18 +0800

আপনার ওয়েফার টুলগুলোতে অপচয় হওয়া তাপ বন্ধ করুন।
সিলিকন ওয়েফারকে উত্তপ্ত করার ক্ষেত্রে নির্ভুলতা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। কিন্তু যারা স্ট্যান্ডার্ড IR সিস্টেম ব্যবহার করেছেন, তারা জানেন যে এখানে অপচয় হওয়া তাপ একটি বড় সমস্যা।
এই অপ্রয়োজনীয় ইনফ্রারেড শক্তি ওয়েফারকে স্পর্শ না করে সরাসরি ভ্যাকিউম চেম্বারের অভ্যন্তরীণ দেয়ালগুলোতে আঘাত করে। ফলে মেশিনটির বাইরের অংশটি এতটাই গরম হয়ে যায় যে কেউ সেখানে থাকলে আহত হতে পারে। আর আপনি শুধুমাত্র শক্তি অপচয় করছেন।
আমরা এই সমস্যার সমাধান করি তাপটিকে নির্দিষ্ট দিকে পাঠানোর মাধ্যমে।

ফ্যাব আইআর এর জন্য ভোল্টেজ রেগুলেটর

Thu, 18 Jun 2026 04:26:21 +0800

ফ্যাব ফ্লোরে, ফটোরেসিস্ট বেক করার প্রক্রিয়াটি শুধুমাত্র একটি তাপমাত্রা-নিয়ন্ত্রণ প্রক্রিয়া নয়; বরং এটা উৎপাদন কার্যক্ষমতার জন্য অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। যদি সফট বেক বা হার্ড বেক প্রক্রিয়ায় IR হিটারটি ঠিকমতো কাজ না করে, তাহলে ওয়েফারগুলো নষ্ট হয়ে যায়, এবং উৎপাদন প্রক্রিয়া বন্ধ হয়ে যায়। আমরা ফ্যাব IR সিস্টেমের জন্য একটি ভোল্টেজ রেগুলেটর তৈরি করেছি; এটা ভোল্টেজের এই অস্থিতিশীলতাগুলো দূর করে। ফলে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ সঠিকভাবে হয়, এবং উৎপাদন প্রক্রিয়া সঠিকভাবে চলতে থাকে।

প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ? এই রেগুলেটরটি ক্লিনরুম পরিবেশে ইনফ্রারেড ল্যাম্পগুলোর জন্য তৈরি করা হয়েছে। এটা স্থিতিশীল ও কম-নয়েজযুক্ত বিদ্যুৎ সরবরাহ করে। ফলে ওয়েফারের উপরিভাগে তাপমাত্রা প্রায় ±0.1°C এর মধ্যে থাকে; এতে CD নিয়ন্ত্রণ ও ফটোরেসিস্টের গুণমান সঠিকভাবে বজায় থাকে। এটা কোনো অতিরিক্ত কণা নিঃসরণ করে না; আর এর উপাদানগুলো Class 1–100 ক্লিনরুমেও কাজ করতে পারে। ৭×২৪ ঘণ্টা চালানোর পরও এর সার্ভিস লাইফ হাজার হাজার ঘণ্টা ধরে থাকে।

আইআর ল্যাম্পের জন্য অ্যালুমিনিয়াম রিফ্লেক্টর

Sat, 06 Jun 2026 04:06:52 +0800

ফ্যাব ফ্লোরে, ফটোরেজিস্ট বেকিং কোনো ঐচ্ছিক তাপপ্রক্রিয়া নয়—এটি লাইনউইথ স্পেসিফিকেশন পূরণ এবং পুরো ব্যাচ বাতিলের মধ্যে একটি সঙ্কীর্ণ সীমা। যদি IR ল্যাম্প ড্রিফ্ট করতে শুরু করে, তাহলে সফট বেক এবং হার্ড বেকও একই ধারা অনুসরণ করে। দ্রাবকগুলি সঠিকভাবে ফ্ল্যাশ আউট হয় না, এবং এক্সপোজার ল্যাটিচুড পতিত হয়। এখানেই অ্যালুমিনিয়াম রিফ্লেক্টরের গুরুত্ব উঠে আসে: এটি কাঁচা রেডিয়েন্ট শক্তিকে একটি স্থিতিশীল, পুনরাবৃত্ত তাপীয় ক্ষেত্র হিসেবে ওয়েফারের উপর রূপান্তর করে।

ইঞ্জিনিয়ারিং দৃষ্টিকোণ থেকে যা গুরুত্বপূর্ণ
আমরা রিফ্লেক্টরকে মিডিয়াম-ওয়েভ IR সরবরাহের জন্য টিউন করি, যা হ্যালোজেন বা NIR সোর্সের সাথে মিল রেখে যথাযথ স্পেক্ট্রাল দক্ষতা নিশ্চিত করে এবং অপ্রয়োজনীয় তাপকে বাদ দেয়। জ্যামিতি এমনভাবে নির্ধারণ করা হয়েছে যাতে ওয়েফার-স্তরের ইউনিফর্মিটি ±0.1°C এর মধ্যে থাকে, যার ফলে তাপমাত্রার পার্থক্য ফটোরেজিস্টের প্রবাহকে প্রভাবিত করতে পারেনা এবং ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশন কন্ট্রোল ঠিক থাকে। পৃষ্ঠটি মাইক্রো-ফিনিশড করা হয়েছে যাতে প্রতিফলন হাজার হাজার ঘণ্টা ধরে স্থিতিশীল থাকে, এমন অবনতি থেকে প্রতিরোধ করে যা নইলে তাপীয় প্রোফাইলে বিকৃতি ঘটাত। অ্যাসেম্বলিটি ক্লীনরুম ক্লাস 1–100 অনুযায়ী তৈরি, যেখানে ব্যবহারৃত উপাদান এবং সিমগুলো পার্টিকেল উৎপত্তি শূন্য রাখে ধারাবাহিক অপারেশনে।

আইআর এমিটার জন্য সিরামিক এন্ড ক্যাপ

Thu, 04 Jun 2026 03:39:07 +0800

On the fab floor, আপনি জানেন কী করতে হয়। ফটোরেজিস্ট বেকিং চলাকালে 0.2°C ড্রিফট ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনগুলো স্পেসিফিকেশনের বাইরে ঠেলে দিতে পারে এবং প্রচুর পরিমাণে স্ক্র্যাপ তৈরি করতে পারে। আপনি লিথোগ্রাফি চালান কঠোর তাপীয় বাজেটের মধ্যে, সফট বেক এবং হার্ড বেক উভয়ের জন্যই, এবং সেই ইমিটার স্ট্যাককে পুনরাবৃত্ত তাপ সরবরাহ করতে হবে, চক্রের পর চক্র, কোনও অজুহাত ছাড়াই।

What matters under the hood

আমাদের IR ইমিটার অ্যাসেম্বলি জন্য সিরামিক এন্ড ক্যাপ সাব-মিলিমিটার তাপীয় ক্ষেত্র নিয়ন্ত্রণের ওপর ভিত্তি করে তৈরি। সিরামিক বডি ইমিটিং জোনকে স্থিতিশীল রাখে, মাইক্রো-আর্কিং এবং হট স্পটগুলো নির্মূল করে, আর জ্যামিতি ওয়েফার জুড়ে পাওয়ার বিতরণকে সমান রাখে। ব্যবহারিক দিক থেকে, এর অর্থ হলো বেক জোন জুড়ে ±0.1°C ইউনিফর্মিটি এবং লটের পর লট নির্ভরযোগ্য পুনরাবৃত্তি। এটি স্ট্যান্ডার্ড হ্যালোজেন/NIR ইমিটার বডিতে সহজে ইনস্টল হয়, ফলে স্পেকট্রাল আউটপুট পূর্বানুমানযোগ্য থাকে এবং সফট বেক ও হার্ড বেকের তাপমাত্রার সেটপয়েন্ট স্থিতিশীল থাকে।

সেমিকন্ডাক্টর আইআর এর জন্য আন্ডারফিল কিউরিং

Wed, 03 Jun 2026 10:08:21 +0800

ফ্যাব ফ্লোরে, আন্ডারফিলের ভয়েড এবং ধীর থ্রুপুট তত্ত্ব হিসেবে দেখা যায় না। এগুলো হারানো ডাই এবং মিসড টার্গেট হিসেবে প্রকাশ পায়। প্রচলিত কিউর প্রোফাইল প্রতিটি ধাপে প্রতিদ্বন্দ্বিতা করে—তাপগত বিলম্ব, তাপমাত্রা গ্রেডিয়েন্ট এবং দূষণের ঝুঁকি যা পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা নষ্ট করে। আপনার এমন একটি কিউর প্রয়োজন যা তাপগত বাজেটের মধ্যে থেকে লাইন স্পিডের সঙ্গে তাল মিলিয়ে চলে।

আমরা যা তৈরি করেছি, এবং কেন তা গুরুত্বপূর্ণ
আমরা আন্ডারফিল কিউরকে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড (NIR) এর চারপাশে স্থাপন করেছি, যেখানে কঠোর স্পেকট্রাল নিয়ন্ত্রণ আছে। এনার্জি সরাসরি মেটারিয়ালে প্রবেশ করে, সাবস্ট্রেটে নয়। এতে দ্রুত, ভলিউমেট্রিক হিটিং হয় যা ওভারশুট ছাড়াই কিউর সময় কমায়। হট জোন জুড়ে, ওয়েফার-লেভেল ইউনিফর্মিটি ±0.1°C এ থাকে, এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা চক্র থেকে চক্রে ধারাবাহিক থাকে।