Zastavení noční můry o prasknutí trubic při zpracování waferů
Buďme upřímní: prasklá infračervená lampa v zařízení s vysokým zatížením znamená naprostou katastrofu. Nejde jen o to, že stroj bude několik hodin mimo provoz – jde také o úklid.
Když praskne křemíková trubice nad křemíkovým waferem, skleněné střepy a halogenový plyn dopadnou přímo na váš substrát. Všechny vaše výrobky jsou zničeny a váš tým musí čistit celou čistící místnost. Je to problém, který nikdo nechce mít.
Právě proto jsme své infračervené lampy pro čistící místnosti navrhli právě takto.
Proč trubice ve skutečnosti praskají
Obvykle je to způsobeno tepelným šokem nebo těmi otravnými lokalizovanými horkými body. Používáme vysoce čistý sférický křemen, který nereakcuje při změnách teploty. Dokáže zvládnout rychlé změny napětí, aniž by praskl.
Dalším problémem jsou „vypálené“ žárovky v levných modelech. K tomu dochází, když vlákno žárovky poklesne nebo se dotkne stěny. To řešíme tím, že vlákno umístíme s přesností na zlomek milimetru do středu. Je to velmi přesná hodnota, ale umožňuje udržet teplo přesně tam, kde má být – uprostřed.
Odstranění nepořádku
Abychom zajistili další úroveň bezpečnosti, obalujeme lampy do vysoce pevných křemičitých pouzder nebo používáme speciální povlak odolný vůči prasknutí.
Můžete to považovat za bezpečnostní síť. Pokud selže vnitřní lampa, vnější vrstva zachytí všechno. Sklo tedy nespadne na vaše wafty.
Také jsme vylepšili konektory. Levné terminály mohou vyvolávat výboje, které uvolňují drobné kovové částice, které se dostanou do vzduchu v čistící místnosti. Tyto kontaktní body jsme uzamkli, aby prostředí zůstalo opravdu čisté.
Kompromis
Je tu však jeden problém. Přidání těchto bezpečnostních vrstev znamená, že část infračerveného záření bude blokována. V porovnání s čistou trubicí budete pozorovat mírný pokles teploty.
Není to velký problém, ale možná budete muset zvýšit výkon nebo nechat wafty trochu déle v provozu, abyste dosáhli požadované teploty. Stačí si ověřit, zda váš zdroj napájení dokáže zvládnout dodatečné zatížení, abyste nezasahovali do provozu uprostřed výroby.