V prostředí výroby na úrovni 5 nm nezbývá žádný prostor pro chyby. Nárůst teploty o 0,3 °C na povrchu wafru může změnit hodnoty CD a zanechat zbytky fotorezistu po procesu leptání. A co konvenční sušení? Víte, jak to funguje – okraje wafru zůstávají stále vlhké. Metody založené pouze na rotaci plýtvají rozpouštědly a způsobují problémy s částicemi.
Vyvinuli jsme izolační panel s infračerveným zářením, který odstraňuje tyto nejistoty právě v místě, kde wafr opouští prostor určený k čištění.
Jádrem tohoto panelu je krátkovlnné infračervené záření s rozdělenou kontrolou. Každá zóna udržuje stabilitu teploty na úrovni ±0,1 °C, takže celý wafr dostává stejnou teplotní hodnotu. Panel má tenký tvar, hodí se do čistých prostor třídy 1–100, a jeho povrch zůstává dostatečně chladný, aby minimalizoval vznik částic.
Výsledkem je spolehlivé sušení bez nutnosti použití velkého množství rozpouštědel. Možnosti měkkého a tvrdého sušení zůstávají zachovány, a zbytky filmu na wafrech lze odstranit bez potřeby opakované expozice.
V praxi to znamená zkrácení doby sušení a zvýšení výnosu. Doba sušení se zkracuje, protože energie působí přímo na film, nikoli na nosič. Spotřeba energie klesá, protože fungují pouze aktivní zóny. Nedoplňkové přerušení provozu se také snižuje díky konstrukci, která umožňuje provoz 24/7 a použití modulů, které lze vyměnit v terénu.
Výsledkem je konzistentní rozpad kapének, nižší spotřeba rozpouštědel a lepší kontrola hodnot CD během procesů litografie a leptání.
Instalace je jednoduchá, ale důležitá je geometrie komory. Je potřeba přizpůsobit rozměry panelu držáku wafru a zajistit dostatečný prostor pro manipulátory robota. Panel se integruje s existujícími systémy řízení prostřednictvím standardních rozhraní. Nastavení zón podle vašich požadavků je rychlý proces na místě. Stačí předem specifikovat napětí a typ konektoru, abyste se vyhnuli další práci.
Izolační sušení pomocí infračerveného záření není řešením vhodným pro všechny linky. Nejlépe funguje tam, kde je hlavním omezujícím faktorem tepelná jednotnost. Pokud se vaše linka snaží dosáhnout vysokého výnosu na pokročilých úrovních, tento panel vám poskytne potřebnou kontrolu.