http://ir-heat-extra.com/cs/tags/furnace/ Recent content in Furnace on Extra Performance IR Heating Hugo cs Sat, 27 Jun 2026 04:57:25 +0800 http://ir-heat-extra.com/cs/posts/high-temp-furnace-for-fab-lab/ Sat, 27 Jun 2026 04:57:25 +0800 http://ir-heat-extra.com/cs/posts/high-temp-furnace-for-fab-lab/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Vysokoteplotní pec pro fab lab"></p> <p>V prostředí výroby určují parametry měkkého a tvrdého zahřívání průběh procesu – termická regulace není něco, co lze jednoduše upravit, je to spíše hranice, kterou je potřeba dodržovat. Rozdíl teploty o 2 °C během zahřívání může změnit kritické rozměry desek, a jediná částice v komoře může zničit desku o velikosti 300 mm. Náš vysokoteplotní pečicí stroj byl navržen tak, aby umožnil pracovat v těchto podmínkách, nikoli aby s nimi bojoval.</p> <p><strong>Co je technicky důležité</strong><br> Požadujeme rovnoměrnost teploty v rozmezí ±0,1 °C v celé oblasti procesu. Opakovatelnost musí být také na stejné úrovni, cyklus za cyklem. V horké oblasti se používá kvarcový materiál a krátkovlnné infračervené prvky, které zajišťují rychlé a efektivní zahřívání s minimálními zpožděními. Profil zahřívání tak odpovídá přesně specifikacím. Komora je navržena pro prostředí třídy 1–100, s materiály s nízkou emisí plynů a laminárním prouděním vzduchu, což minimalizuje tvorbu částic. Při zahřívání fotorezistentů to znamená konzistentní odstraňování rozpouštědel a průtok polymerů – žádné nadměrné nebo nedostatečné zahřívání.</p> http://ir-heat-extra.com/cs/posts/lpcvd-furnace-heating-element/ Sun, 31 May 2026 04:52:45 +0800 http://ir-heat-extra.com/cs/posts/lpcvd-furnace-heating-element/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Topné těleso LPCVD pece"></p> <p>Out on the line běží pec LPCVD jako tlaková nádoba, která si vynucuje svůj režim – stabilní teplotu, těsnou uniformitu a nulovou toleranci pro výkyvy částic. <a href="https://o-yate.net">Jedin</a>ý teplotní výkyv během nanášení polysilikonu nebo nitridu se projeví jako nerovnoměrnost tloušťky napříč šarží. Horké místo může posunout profily fotoresistu mimo cíl v pekařských modulech, které jsou umístěné hned vedle. Topné těleso pece není jen vedlejší hardware; je to tepelný nástroj, který určuje, jak opakovatelný váš tepelný rozpočet skutečně je.<br> Infračervené vytápění poskytuje přímou, přímovětvovou kontrolu, kterou konvenční zářiče nedokážou zajistit. Topné těleso LPCVD stavíme kolem krátkovlnných infračervených (NIR) lamp, doplněných o křemennou tepelnou architekturu, takže získáte submilimetrovou kontrolu tepelného pole. Výsledkem je tepelný profil, na který se můžete spolehnout, šarže za šarží.</p>