http://ir-heat-extra.com/cs/tags/hlin%C3%ADk/ Recent content in Hliník on Extra Performance IR Heating Hugo cs Sat, 06 Jun 2026 04:06:52 +0800 http://ir-heat-extra.com/cs/posts/aluminum-reflector-for-ir-lamp/ Sat, 06 Jun 2026 04:06:52 +0800 http://ir-heat-extra.com/cs/posts/aluminum-reflector-for-ir-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Hliníkový reflektor pro IR lampu"></p> <p>Na výrobní lince není pečení fotoresistu pouhým volitelným tepelným krokem – jde o tenkou hranici mezi dosažením specifikace šířky čáry a vyřazením celé dávky. Pokud se IR lampa začne odchylovat, následují změny i u soft bake a hard bake. Rozpouštědla se neodpařují čistě a expozice ztrácí toleranci. Právě zde se uplatní hliníkový reflektor: přeměňuje surovou radiaci na stabilní, opakovatelná tepelná pole na celé waferu.</p> <p><strong>Co je klíčové pod povrchem</strong><br> Reflektor ladíme pro dodávku infračerveného záření ve středním pásmu, přizpůsobený halogenovým nebo NIR zdrojům, abychom dosáhli správné spektrální účinnosti a minimalizovali ztráty tepla. Geometrie je nastavena tak, aby uniformita teploty na úrovni waferu dosahovala ±0.1°C, aby teplotní gradienty nemohly ovlivnit tok fotoresistu a zkomplikovat kontrolu kritických rozměrů. Povrch je mikroopracován, aby udržel konstantní odrazivost i po tisících hodinách, odolávající degradaci, která by jinak zkreslila tepelný profil. Celé sestavení odpovídá čistotě třídy 1–100 cleanroom, s materiály a spoji, které během stabilního provozu minimalizují generování částic na nulu.</p>