IR on Extra Performance IR Heating

Přesný IR senzor pro polovodičové destičky

Tue, 21 Jul 2026 04:13:20 +0800

Přestaňte plýtvat teplem u svých nástrojů na zpracování křemíkových destiček

Zahřívání křemíkové destičky vyžaduje velkou přesnost. Ale pokud jste pracovali s běžnými infračervenými systémy, znáte ten problém – plýtvání teplem.
Jde o tu otravnou infračervenou energii, která minuje samotnou destičku a naráží přímo do vnitřních stěn vakuumové komory. Než si to uvědomíte, vnější část stroje je dostatečně horká na to, aby popálila člověka. V takovém případě prostě plýtváte energií.
My to řešíme tím, že pečlivě plánujeme, kam má teplo skutečně směřovat.

Regulátor napětí pro fab IR

Thu, 18 Jun 2026 04:26:21 +0800

V prostředí výroby není proces sušení fotorezisty jen další fází zpracování. Jedná se o faktor, který přímo ovlivňuje kvalitu výrobku. Pokud se infračervený ohřívač během procesu sušení posune, kritické rozměry se změní, desky se znehodnotí a výroba se zastaví. Vytvořili jsme regulátor napětí určený k použití v infračervených systémech, aby se tato variabilita odstranila. Regulátor udržuje nastavenou hodnotu napětí i v případě výkyvů napětí v síti, takže teplotní podmínky zůstávají v požadovaných mezích.

Co je z technického hlediska důležité
Tento regulátor je navržen pro použití s infračervenými lampami v čistých prostorách. Poskytuje stabilní a tichý provoz s přesnou kontrolou. Výsledkem je tepelná uniformita na úrovni desek ve výši ±0,1 °C po celé ploše povrchu, což zajišťuje správnou kontrolu rozměrů a opakovatelnost vlastností fotorezisty. Regulátor nevytváří žádné dodatečné částice a materiály a uzávěry odolávají podmínkám v čistých prostorách třídy 1–100. Díky designu lze dosáhnout nulových neočekávaných poruch při provozu 24/7, přičemž očekávaná doba životnosti je desítky tisíc hodin.

Hliníkový reflektor pro IR lampu

Sat, 06 Jun 2026 04:06:52 +0800

Na výrobní lince není pečení fotoresistu pouhým volitelným tepelným krokem – jde o tenkou hranici mezi dosažením specifikace šířky čáry a vyřazením celé dávky. Pokud se IR lampa začne odchylovat, následují změny i u soft bake a hard bake. Rozpouštědla se neodpařují čistě a expozice ztrácí toleranci. Právě zde se uplatní hliníkový reflektor: přeměňuje surovou radiaci na stabilní, opakovatelná tepelná pole na celé waferu.

Co je klíčové pod povrchem
Reflektor ladíme pro dodávku infračerveného záření ve středním pásmu, přizpůsobený halogenovým nebo NIR zdrojům, abychom dosáhli správné spektrální účinnosti a minimalizovali ztráty tepla. Geometrie je nastavena tak, aby uniformita teploty na úrovni waferu dosahovala ±0.1°C, aby teplotní gradienty nemohly ovlivnit tok fotoresistu a zkomplikovat kontrolu kritických rozměrů. Povrch je mikroopracován, aby udržel konstantní odrazivost i po tisících hodinách, odolávající degradaci, která by jinak zkreslila tepelný profil. Celé sestavení odpovídá čistotě třídy 1–100 cleanroom, s materiály a spoji, které během stabilního provozu minimalizují generování částic na nulu.

Keramický koncový kryt pro IR vysílač

Thu, 04 Jun 2026 03:39:07 +0800

Na výrobním patře znáte své povinnosti. Odchylka 0,2 °C během sušení fotorezistu může vychýlit kritické rozměry mimo specifikace a způsobit, že velké množství výrobků skončí jako odpad. Provádíte litografii s přísnými tepelnými limity jak při měkkém, tak při tvrdém sušení, a ten emitorový systém musí dodávat opakovatelný výkon, cyklus za cyklem, bez výmluv.

Co je důležité uvnitř

Náš keramický koncový kryt pro sestavy IR emitorů je navržen pro řízení tepelného pole na úrovni submilimetru. Keramické tělo stabilizuje emitující zónu, eliminuje mikroiskření a horká místa, zatímco geometrie zajišťuje rovnoměrné rozložení výkonu napříč wafrem. V praxi to znamená uniformitu ±0,1 °C v sušicí zóně a opakovatelnost, na kterou se můžete spolehnout při každé šarži. Bezproblémově se instaluje do standardních halogenových/NIR emitorových těles, takže spektrální výstup zůstává předvídatelný a teplotní nastavovací body zůstávají stabilní jak pro měkké, tak pro tvrdé sušení.

Vytvrzování podvýplně pro polovodičové IR

Wed, 03 Jun 2026 10:08:21 +0800

Na výrobní lince se podvýplňové dutiny a pomalý průchod materiálu neprojevují jako teorie. Projevují se jako ztracené polovodičové destičky a nesplněné cíle. Konvenční profily vytvrzování vám kladou překážky na každém kroku – tepelná prodleva, teplotní gradienty a riziko kontaminace, které ničí opakovatelnost. Potřebujete vytvrzování, které zůstane v rámci tepelného rozpočtu a zároveň drží krok s rychlostí linky.
Co jsme vyvinuli a proč je to důležité
Nastavili jsme vytvrzování podvýplně kolem krátkovlnného infračerveného záření (NIR) s přesnou spektrální kontrolou. Energie je přenášena přímo do materiálu, nikoliv do substrátu. To umožňuje rychlé, objemové ohřívání, které zkracuje čas vytvrzování bez přehřátí. V celé horké zóně je uniformita na úrovni waferu udržována ±0,1°C a opakovatelnost zůstává konzistentní cyklus za cyklem.
Hardware je připravený pro čisté prostory, kompatibilní s třídami 1–100, a během provozu nevytváří žádné částice. Systém je navržen pro 24/7 spolehlivost, vybíráme komponenty, které minimalizují neplánované odstávky.
Proč je to vhodné pro naši práci
Tato platforma odpovídá tepelnému režimu sušení waferů, měkkého i tvrdého pečení fotorezistu, vytvrzování podvýplně na úrovni pouzdra a čištění/sušení. Pečení fotorezistu je přesné díky stabilnímu a neměnnému profilu, což zpřesňuje kontrolu šířky linií a zvyšuje toleranci vůči defektům. Vytvrzování podvýplně probíhá bez dutin, s předvídatelným přechodem skla a chováním součinitele tepelného roztažení (CTE) – méně oprav a odpadů.
Spotřeba energie klesá díky vytápění na požádání a efektivitě, a procesní okno se zužuje ve prospěch kvality: méně odchylek, méně šrotu.
Co je potřeba plánovat
NIR vytvrzování je rychlé, ale vyžaduje disciplinované řízení tepla a kontrolovanou emisivitu na nosiči. Integrace je krátká, ale je třeba počítat s potřebou prostor pro energie – elektrickou, chlazení a odsávání dimenzované na špičkový výkon. Profil přizpůsobujeme chemii vaší podvýplně a následně jej fixujeme metrologií a SPC, aby bylo předání do sériové výroby co nejsnazší.