Reflektor on Extra Performance IR Heating

Infračervená žárovka s zlatým reflektorem

Mon, 27 Jul 2026 06:27:16 +0800

Proč používáme zlaté reflexory při vytváření bezolovnatých polovodičů
Buďme upřímní: konvekční pece už začínají působit jako rekty ze minulosti. Ve světě polovodičů směřujeme k systémům s krátkovlnným infračerveným zářením – a to z dobrého důvodu. Snaha o výrobu bezolovnatých produktů a ekologicky šetrné procesy není jen trendem – je to nový standard.

Ale je tu jeden problém. Když přejdete na bezolovnaté spájky, všechno se zkomplikuje. Musíte se vyrovnat s vyššími bodami tání a velmi úzkým rozsahem teplot. Je tu opravdu málo prostoru pro chyby.

Reflektor pro lampu na vytvrzování válců

Tue, 14 Jul 2026 10:43:27 +0800

Zastavení problémů v linkách pro zasychání destiček
Realita práce s vysokým zatížením při zasychání destiček je taková: když lampa přestane fungovat, nejde jen o ztrátu několika minut výroby. Pokud se kvartová trubice opravdu rozbije, na vaše destičky dopadnou střepy skla a halogenové usazeniny. Je to noční můra – jeden praskot a celá várka je zničena.

Aby se tomu zabránilo, používáme reflexní štít. Zní to jednoduše, ale on plní dvě důležité funkce najednou: slouží jako fyzická bariéra a zároveň jako koncentrátor tepla.

Hliníkový reflektor pro IR lampu

Sat, 06 Jun 2026 04:06:52 +0800

Na výrobní lince není pečení fotoresistu pouhým volitelným tepelným krokem – jde o tenkou hranici mezi dosažením specifikace šířky čáry a vyřazením celé dávky. Pokud se IR lampa začne odchylovat, následují změny i u soft bake a hard bake. Rozpouštědla se neodpařují čistě a expozice ztrácí toleranci. Právě zde se uplatní hliníkový reflektor: přeměňuje surovou radiaci na stabilní, opakovatelná tepelná pole na celé waferu.

Co je klíčové pod povrchem
Reflektor ladíme pro dodávku infračerveného záření ve středním pásmu, přizpůsobený halogenovým nebo NIR zdrojům, abychom dosáhli správné spektrální účinnosti a minimalizovali ztráty tepla. Geometrie je nastavena tak, aby uniformita teploty na úrovni waferu dosahovala ±0.1°C, aby teplotní gradienty nemohly ovlivnit tok fotoresistu a zkomplikovat kontrolu kritických rozměrů. Povrch je mikroopracován, aby udržel konstantní odrazivost i po tisících hodinách, odolávající degradaci, která by jinak zkreslila tepelný profil. Celé sestavení odpovídá čistotě třídy 1–100 cleanroom, s materiály a spoji, které během stabilního provozu minimalizují generování částic na nulu.