http://ir-heat-extra.com/cs/tags/soft/ Recent content in Soft on Extra Performance IR Heating Hugo cs Mon, 08 Jun 2026 05:10:57 +0800 http://ir-heat-extra.com/cs/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Mon, 08 Jun 2026 05:10:57 +0800 http://ir-heat-extra.com/cs/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Světelný zdroj pro měkké vytvrzování fotorezistu"></p> <p>Na fab floor není soft bake rozcvička. Nastavuje rozpočet litografie, tečka. Nejednotnost teploty se projevuje jako variabilita CD a zadržení rozpouštědel se vrací jako nožička, usazeniny nebo drsnost okrajů čar. Nechte bake driftovat a riskujete <a href="https://o-yate.net">celou</a> várku.</p> <p>Tady je to, co je technicky důležité. Naše lampa pro soft bake fotoresistoru udržuje ±0,1 °C stálou uniformitu napříč waferem. Materiály jsou kompatibilní s čistým prostorem třídy 1–100 a nástroj nevytváří žádné částice. Krátkovlnné infračervené prvky jsou vyladěny na absorpční profil fotoresistoru, takže energie jde do filmu, nikoli do substrátu. Opakovatelnost je ±0,5 °C mezi šaržemi a řízení rampy je dostatečně přísné, aby respektovalo tepelný rozpočet pokročilých uzlů bez překročení.</p>