Sušení on Extra Performance IR Heating

Ohřívač na sušení desek senzorů MEMS

Mon, 27 Jul 2026 06:37:36 +0800

Správné sušení čipů typu MEMS – bez problémů s kontaminací

Při sušení senzorů typu MEMS je teplo jen polovinou problému. Skutečný boj probíhá proti drobným částicím.
Pokud pracujete v čisté místnosti třídy 100, určitě víte, jak to funguje: stačí jeden malý únik plynu nebo jedna částice z topného prvku a celá várka čipů je zničena. Je to stresující způsob práce. Proto používáme lampy na infračervené záření vyrobené z vysoce čisté syntetické křemíkové skloviny.
Proč je křemík opravdu důležitý
Laciné sklo nebo levný křemík prostě nevydrží takové zatížení. Po několika teplotních cyklech začínají se rozpadat a uvolňovat mikroskopické částice. To rozhodně není dobré.
My používáme vysoce čistou spálenou křemičitou sklovinu – ta zůstává pevná i při extrémních teplotách a neuvolňuje žádné plyny. Skvělé na tom je, že infračervené záření působí přímo na vlhkost na povrchu čipu. Voda tak okamžitě odpaří, aniž by se celá komora proměnila v troubu.
Podrobnosti o konstrukci
Tyto lampy jsou navrženy tak, aby se vešly do vaší zařízení. Křemíkový obal je hermeticky uzavřený, aby se zabránilo oxidaci vlákna – právě tam totiž obvykle začínají problémy s kontaminací. Díky řízení procesu halogenování uvnitř trubice zůstává vlákno hladké a předchází se tvorbě jam.
Ale pozor: musíte správně nastavit hustotu napětí podle velikosti konkrétního čipu. Samozřejmě, vyšší výkon urychlí proces sušení. Ale zároveň to vyvolává větší tlak na systém chlazení. Pokud to přehnanete, může dojít k deformaci čipu. Jde tedy o nalezení správné rovnováhy mezi délkou a výkonem, aby bylo teplo rovnoměrně rozloženo po celé ploše senzoru.
Několik tipů pro instalaci
Jedná se v podstatě o náhradní komponenty pro většinu zařízení na sušení čipů typu MEMS. Použili jsme standardní konektory, takže se nebudete potýkat s problémy s zapojením.
Jen upozornění: vysoce čistý křemík je křehký. Rád má teplo, ale nesnáší nárazy. Mechanický šok během instalace může způsobit mikrotrhliny, které možná ani neuvidíte.
A prosím, používejte rukavice bez chlupů. Oleje z vaší kůže mohou na skle vytvořit „horká místa“, což rychle vede k selhání trubice.

Energetická auditoriza sušičky

Thu, 23 Jul 2026 11:52:57 +0800

Proč výrobny polovodičů opouštějí konvenční pece ve prospěch UV zahřívání

Pokud jste v poslední době strávili nějaký čas v takové výrobně, pravděpodobně jste si všimli jedné věci – ty velké, objemné konvenční pece začínají mizet. Lidé se místo toho obrací k použití infračerveného zahřívání. Proč? Protože zahřívání celé místnosti jen proto, abyste vysušili malý kousek křemíku, je spíše plýtváním energií. Infračervené záření působí přímo na materiál. To je také důvod, proč „ekologické“ nebo „bez olova“ specifikace v současnosti téměř vždy ukazují na infračervené zahřívání.

Infrakrátkovlnná deska pro sušení vrstvených waférů

Thu, 02 Jul 2026 08:57:35 +0800

V prostředí výroby na úrovni 5 nm nezbývá žádný prostor pro chyby. Nárůst teploty o 0,3 °C na povrchu wafru může změnit hodnoty CD a zanechat zbytky fotorezistu po procesu leptání. A co konvenční sušení? Víte, jak to funguje – okraje wafru zůstávají stále vlhké. Metody založené pouze na rotaci plýtvají rozpouštědly a způsobují problémy s částicemi.

Vyvinuli jsme izolační panel s infračerveným zářením, který odstraňuje tyto nejistoty právě v místě, kde wafr opouští prostor určený k čištění.