http://ir-heat-extra.com/cs/tags/wafel/ Recent content in Wafel on Extra Performance IR Heating Hugo cs Thu, 02 Jul 2026 08:57:35 +0800 http://ir-heat-extra.com/cs/posts/zoned-wafer-drying-infrared-panel/ Thu, 02 Jul 2026 08:57:35 +0800 http://ir-heat-extra.com/cs/posts/zoned-wafer-drying-infrared-panel/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Infrakrátkovlnná deska pro sušení vrstvených waférů"></p> <p>V prostředí výroby na úrovni 5 nm nezbývá žádný prostor pro chyby. Nárůst teploty o 0,3 °C na povrchu wafru může změnit hodnoty CD a zanechat zbytky fotorezistu po procesu leptání. A co konvenční sušení? Víte, jak to funguje – okraje wafru zůstávají stále vlhké. Metody založené pouze na rotaci plýtvají rozpouštědly a způsobují problémy s částicemi.</p> <p>Vyvinuli jsme izolační panel s infračerveným zářením, který odstraňuje tyto nejistoty právě v místě, kde wafr opouští prostor určený k čištění.</p>