Das Ende des Albtraums durch geplatzte Infrarotlampen bei der Waferverarbeitung
Seien wir ehrlich: Eine zerbrochene Infrarotlampe in einer hochbelasteten Anlage ist ein echtes Desaster. Es geht nicht nur darum, dass die Maschine für einige Stunden außer Betrieb ist – es geht auch um die Reinigung nach dem Vorfall.
Wenn eine Quarzröhre bei der Verarbeitung von Siliziumwafern platzt, landen Glasstücke sowie Halogengas direkt auf dem Substrat. Dadurch sind die Wafer unbrauchbar, und das Team muss den gesamten Reinraum reinigen. Das ist ein Ärger, den niemand haben möchte.
Genau deshalb haben wir unsere Infrarotlampen für den Einsatz in Reinräumen so konstruiert.
Warum die Lampen eigentlich kaputtgehen
In der Regel liegt es an thermischem Schock oder an lokalisierten Hotspots. Wir verwenden hochreinen, gefügten Quarz, der nicht unter Temperaturschwankungen zusammenbricht. Er kann schnelle Spannungsschwankungen aushalten, ohne zu zerbrechen.
Außerdem gibt es noch das Problem des „Ausbrennens“ der Lampe – das tritt bei billigen Lampen auf. Dabei senkt sich der Filament herab oder berührt die Wand. Wir beheben das Problem, indem wir den Filament in einem Abstand von nur einem Bruchteil eines Millimeters zentrieren. Das ist eine enge Toleranz, aber dadurch bleibt die Wärme genau dort, wo sie hingehört – in der Mitte.
Verhindern von Schäden
Um zusätzliche Sicherheit zu gewährleisten, umhüllen wir die Lampen mit einer hochfesten Quarzschicht oder verwenden eine spezielle, bruchfeste Beschichtung. Das ist wie ein „Sicherheitsnetz“. Wenn die innere Lampe versagt, fängt die äußere Schicht alles auf. So fallen keine Glassplitter auf die Wafer.
Wir haben außerdem die Steckverbinder verstärkt. Billige Steckverbinder können Funken erzeugen, und diese Funken führen dazu, dass kleine Metallpartikel in die Luft gelangen. Wir sichern diese Kontakte, damit die Umgebung möglichst sauber bleibt.
Der Kompromiss
Der Nachteil ist, dass durch diese Sicherheitsmaßnahmen etwas von der Infrarotstrahlung blockiert wird. Dadurch sinkt die Wärmeleistung im Vergleich zu einer normalen Lampe etwas.
Das ist zwar kein großes Problem, aber man muss möglicherweise die Leistung erhöhen oder die Wafer länger in der Lampe belassen, um die gewünschte Temperatur zu erreichen. Stellen Sie sicher, dass Ihre Stromversorgung die zusätzliche Belastung bewältigen kann – sonst könnte während des Produktionsprozesses ein Kurzschluss auftreten.