Wie man die Wafer sauber hält: Warum die Design der Lampen wirklich wichtig ist
In einer Produktionslinie mit hoher Auslastung kann bereits ein defekter Lampenkolben den gesamten Betrieb lahmlegen. Es geht dabei nicht nur um die Stillstandszeiten – wenn ein Quarztubus ausfällt, fallen Glassplitter und Metallstücke auf die Substrate. Das ist ein Albtraum, den man unbedingt vermeiden möchte.
Genau deshalb haben wir unsere digitalen Infrarotsteuerungen sowie Lampenkonstruktionen so konzipiert, dass eine solche Kontamination von vornherein verhindert wird.
Vermeidung von Ausfällen bereits im Vorfeld
Die meisten Lampen versagen, weil sie an einer Stelle zu heiß werden oder durch plötzliche Spannungsspitzen beschädigt werden. Um das zu verhindern, nutzen wir ein digitales System mit geschlossenem Regelkreis, das die Temperatur ständig im optimalen Bereich hält. So entstehen keine thermischen Schocks und der Quarztubus wird nicht überlastet.
Sollte die Steuerung einen abnormalen Stromfluss feststellen, wird sofort die Stromversorgung unterbrochen. Das ist zwar eine einfache Lösung, aber sie verhindert, dass der Glühfaden durch die Wand des Tubus schmilzt.
Die Sicherheitsmaßnahmen
Wir verlassen uns nicht nur darauf, dass das Glas dem Druck standhält. Wir verwenden außerdem physikalische Schutzschilde als zusätzliche Absicherung. Das sind sozusagen „Sicherheitsnetze“. Falls ein Tubus doch ausfällt, bleiben die Trümmer oben im Schield gefangen – weit entfernt von den Wafern.
Außerdem verwenden wir Quarz von hoher Reinheit mit speziellen Beschichtungen, damit die Wärme genau dorthin gelangt, wo sie hingehört – auf die Wafer, nicht auf das Gehäuse. Achtung: Diese Beschichtungen sind etwas zerbrechlich. Wenn man die Lampen bei der Installation unsachgemäß behandelt, können die Beschichtungen abplatzen. Bitte verwenden Sie dazu die von uns bereitgestellten Halterungen – dadurch werden versehentliche Schäden vermieden.
Die richtige Einrichtung
Auch die Verkabelung muss perfekt sein. Wir verwenden verstärkte Anschlüsse, denn Blitzebildung an den Anschlüssen ist eine häufige Ursache für Ausfälle.
Noch ein Tipp: Überprüfen Sie auch die Kühlung. Die Luftzirkulation muss stark genug sein, um die Wärme vom Schield abzuführen. Wenn die Luft zu stagnierend ist, fungiert der Schield wie ein Wärmeleiter – dadurch wird eine gleichmäßige Trocknung der Wafer nicht gewährleistet. Halten Sie einen konstanten Luftstrom aufrecht, damit das Gehäuse kühl bleibt, während die Wafer die gewünschte Temperatur erreichen.